[实用新型]化学药液分配装置

权利要求书

1.一种化学药液分配装置，其特征在于，包括：

储存容器（1），其内部储存化学药液，其顶部设置有注液入口和回液入口，其底部设置有与循环泵（2）的输入端连接的出液口；

采样阀（12），其为三通阀，其输入端连接循环泵（2）的输出端，采样端连接热水注入通道（11），输出端连接气动三通阀（8）的输入端；

气动三通阀（8），其第一输出端连接储存容器（1）的回液入口，第二输出端连接工艺单元（9）的输入端，所述工艺单元（9）的输出端连接所述储存容器（1）的回液入口。

2.根据权利要求1所述的一种化学药液分配装置，其特征在于，所述工艺单元（9）为多个，所述气动三通阀（8）与所述工艺单元（9）的数量相同，各个气动三通阀（8）的第二输出端分别与对应的工艺单元（9）的输入端连接，每个工艺单元（9）的输出端分别与所述储存容器（1）的回液入口连接。

3.根据权利要求1所述的一种化学药液分配装置，其特征在于，所述热水注入通道（11）上设置有流量控制元件。

4.根据权利要求1至3任意一项所述的一种化学药液分配装置，其特征在于，所述储存容器（1）上设置有液位传感器。

5.根据权利要求1至3任意一项所述的一种化学药液分配装置，其特征在于，所述循环泵（2）为磁力泵。