[实用新型]化学药液分配装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，具体涉及一种化学药液分配装置。

背景技术

在半导体硅片湿法清洗工艺中会用到各种化学药液，这些化学药液或呈酸性、碱性或者具有强烈的腐蚀性，又或者粘度较高、易挥发，某些化学药液可能因为造价高等问题还要求在使用寿命内循环使用。若某化学药液粘度较高并易挥发而且还可循环使用，则该化学药液会因为粘度高在管路中流动困难，难以达到工艺所需的压力和流量；因为易挥发会影响其组分的配比且会增加其粘度，而且因为可以循环使用，所以在工艺过后需流回化学药液存储装置，这更加剧了该化学药液的挥发，从而进一步增加其粘度，严重影响了工艺效果。

目前，相关的半导体工艺设备解决上述问题是采用如图1中所示的装置。由于该化学药液可循环利用，在进入工艺腔室完成工艺后还需进行回收，因此需要一个专门的储存容器1，储存容器1可以存储一定量的化学药液，既可以完成工艺开始前的准备工作，工艺完成后还可以继续存储回收的化学药液。工艺开始时，首先打开第四气动阀6向储存容器中注入一定量的化学药液，关闭第四气动阀6；第一气动阀3打开，化学药液在循环泵2的作用进入工艺管路，由于该化学药液粘度较高，该装置在工艺管路上安装了在线加热器10，在满足工艺需求的情况下将化学药液加热到某一温度，温度升高以后，化学药液的粘度降低，可以更好的在工艺管路中流动，达到工艺所需的流量和压力，之后经由气动三通阀8以及第三气动阀5进入储液容器1。另外，该化学药液易挥发，工艺单元9完成工艺后还需将化学药液经由第二气动阀4回收，这更加剧了化学药液的挥发，该装置采用的方法是，通过定时控制第五气动阀7的开合，向储存容器1中注入一定量的纯水，对化学药液进行稀释。

由于既需要控制在线加热器10的加热温度，同时又需要控制纯水的注入，操作不便；同时，由于第五气动阀7以及在线加热器10的设置，使得该装置结构复杂。

实用新型内容

（一）要解决的技术问题

本实用新型的目的在于提供一种结构简单，操作方便，控制点少的化学药液分配装置。

（二）技术方案

本实用新型技术方案如下：

一种化学药液分配装置，包括：

储存容器，其内部储存化学药液，其顶部设置有注液入口和回液入口，其底部设置有与循环泵的输入端连接的出液口；

采样阀，其为三通阀，其输入端连接循环泵的输出端，采样端连接热水注入通道，输出端连接气动三通阀的输入端；

气动三通阀，其第一输出端连接储存容器的回液入口，第二输出端连接工艺单元的输入端，所述工艺单元的输出端连接所述储存容器的回液入口。

优选的，所述工艺单元为多个，所述气动三通阀与所述工艺单元的数量相同，各个气动三通阀的第二输出端分别与对应的工艺单元的输入端连接，每个工艺单元的输出端分别与所述储存容器的回液入口连接。

优选的，所述热水注入通道上设置有流量控制元件。

优选的，所述储存容器上设置有液位传感器。

优选的，所述循环泵为磁力泵。

（三）有益效果

本实用新型的一种化学药液分配装置通过在工艺管路上设置热水注入通道，代替了现有技术中的在线加热机构以及纯水注入机构，将加热与纯水注入合二为一，简化了化学药液分配装置的结构，方便了操作，同时减少了控制点。

附图说明

图1是现有技术中化学药液分配装置的示意图；

图2是本实用新型的一种化学药液分配装置的示意图。

图中，1：储存容器；2：循环泵；3：第一气动阀；4：第二气动阀；5：第三气动阀；6：第四气动阀；7：第五气动阀；8：气动三通阀；9：工艺单元；10：在线加热器；11：热水注入通道；12：采样阀。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对实用新型的具体实施方式做进一步描述。以下实施例仅用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

本实用新型与图1中所示的现有技术的不同之处主要在于不再向储存容器1中定时补水，同时去掉在线加热器10，采用向工艺管路中注入一定量特定温度热水的方法来达到降低化学药液粘度的目的，同时也改善了其易挥发的不足。具体实施过程如下所述：