[实用新型]阵列基板、显示装置和线宽测量装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及液晶显示器领域，尤其涉及一种阵列基板、显示装置和线宽测量装置。

背景技术

在TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜晶体管液晶显示器)制造业中，CD(Critical Dimension，关键尺寸)的监控测量非常重要，其测量结果的准确性将影响到整个显示装置的性能。在ADS(Advanced-Super Dimension Switch，高级超维场转换技术)型的阵列基板中，间隔分布的条状电极的线宽就是阵列基板的关键尺寸，将影响到显示装置的透过率等性能。在所述阵列基板上有一处线宽测量区，用于测量条状电极的线宽。但是，由于线宽测量区各条状电极分布界限模糊，一直存在条状电极线宽测量不到和测量准确性过差的问题。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种阵列基板、显示装置和线宽测量装置，可以测量获得准确的条状电极的线宽。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种阵列基板，包括：透明基板，设置在所述透明基板上的栅金属层、栅绝缘层、有源层、源漏金属层以及钝化层；其中，所述栅金属层包括：栅线和栅极的图案，所述源漏金属层包括：数据线、源极、漏极的图案；所述阵列基板还包括：设置在像素区域内的第一条状电极和设置在线宽测量区的第二条状电极；还包括：

设置在所述线宽测量区的不透明图案，所述不透明图案位于所述第二条状电极的下方且至少一个第二条状电极的部分两侧边界位于所述不透明图案所在的区域内；

所述钝化层至少覆盖所述像素区域。

优选的，所述不透明图案与所述栅线和栅极的图案同层设置；或，所述不透明图案与所述数据线、源极、漏极的图案同层设置。

优选的，所述不透明图案覆盖整个所述线宽测量区。

优选的，所述钝化层只覆盖所述像素区域。

一种显示装置，包括对盒后的彩膜基板和阵列基板，所述阵列基板为上述任意一项所述的阵列基板。

一种线宽测量装置，包括：

测量单元，用于测量获得线宽测量区任一第二条状电极的宽度值CD1，所述第二条状电极的上侧边界到其下侧沟道中与所述第二条状电极不相邻的边界的宽度值CD2以及所述第二条状电极的下侧边界到其上侧沟道中与所述第二条状电极不相邻的边界的宽度值CD3；

比较处理单元，用于在所述测量单元测量得到的CD2和CD3满足以下条件：目标值-波动值＜CD2＜目标值+波动值且目标值-波动值＜CD3＜目标值+波动值时，确定所述CD1为线宽测量准确值；在所述CD2和CD3不满足所述条件时，确定所述CD1不准确。

上述技术方案提供的阵列基板、显示装置和线宽测量装置，通过在所述第二条状电极下设置不透明图案，增加所述第二条状电极的边界对比度，使得所述第二条状电极分布界限清晰，从而测量获得所述第二条状电极的准确的线宽。另外上述技术方案提供的线宽测量方法和装置，通过增加对CD2和CD3的限制条件，来确定测量时选择的边界线是否有准确，从而判断测得的线宽CD1是否准确，进而增加线宽测量的准确性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的一种阵列基板的剖面结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的另一种阵列基板的剖面结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的一种线宽测量区的俯视结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的一种线宽测量装置的结构框图。

附图说明：

1-透明基板，2-栅线和栅极的图案，3-绝缘层，4-有源层，5-数据线、源极、漏极的图案，6-钝化层，7-第一条状电极，8-第二条状电极，9-不透明图案。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。