[实用新型]一种硅片托举模块

权利要求书

1.一种硅片托举模块，设置在烘烤装置内，所述烘烤装置设置有行走臂，所述行走臂包括四个按矩形排布的支撑块，所述硅片通过线接触方式放置在所述行走臂上且通过其水平传输，所述托举模块设置在行走臂下端且可沿竖直方向将硅片从行走臂上托举起来或放置在行走臂上，所述托举模块包括四个按矩形排布的托举板，所述托举板与所支撑的硅片线接触，其特征在于，所述托举板上直接与硅片接触的部位套设有护套。

2.根据权利要求1所述的硅片托举模块，其特征在于，所述护套为具有贯通凹槽的硅胶垫，所述凹槽与所述托举板相匹配。

3.根据权利要求1所述的硅片托举模块，其特征在于，所述四个按矩形排布的支撑块均为沿矩形中心至外部内薄外厚的楔形，所述硅片与四个楔形的支撑块线接触，所述支撑块竖直设置。

4.根据权利要求3所述的硅片托举模块，其特征在于，所述四个按矩形排布的托举板均为沿矩形中心至外部内薄外厚的楔形，所述硅片与四个楔形的托举板线接触，所述托举板竖直设置。

5.根据权利要求1所述的硅片托举模块，其特征在于，所述托举模块的四个托举板两个为一组设置，且每组的两个托举板通过连接板连接。

6.根据权利要求1所述的硅片托举模块，其特征在于，所述烘烤装置邻接印刷机台设置，用于烘干通过印刷机台印刷在硅片上的金属浆料。