[实用新型]一种排风装置

权利要求书

1.一种排风装置，其特征在于：包括底腔（3）、兆声波装置盛液槽（4）、兆声波装置盛液槽固定支架（5）、夹层（1）及排风调整单元（7），所述底腔（3）固定于所述夹层（1）顶部，所述兆声波装置盛液槽（4）通过兆声波装置盛液槽固定支架（5）固定于所述夹层（1）上，所述夹层（1）将整个工艺腔室的工艺区和电气区分隔开，所述排风调整单元（7）与所述夹层（1）连接，用于调整工艺腔体内部排风流量、工艺腔体外部排风流量以及电气区的排风流量。

2.根据权利要求1所述的排风装置，其特征在于：所述夹层（1）的材质为具有耐酸碱腐蚀性的塑料，其包括顶板（101）、侧板（102）、内侧环（103）、底板（104）和主排风口（105），所述内侧环（103）位于顶板（101）和底板（104）之间，所述主排风口（105）位于所述底板（104）上，且所述主排风口（105）的顶部高度高于底板（104）的顶部。

3.根据权利要求2所述的排风装置，其特征在于：所述顶板（101）为凹槽状结构，且其上设有排风孔（106）。

4.根据权利要求2所述的排风装置，其特征在于：所述顶板（101）上还设有第一联结孔（107）、第二联结孔（108）、第三联结孔（109）、第四联结孔（110）及第五联结孔（113），通过所述第一联结孔（107）将夹层（1）与工艺区壳体（19）联结，通过所述第二联结孔（108）将夹层（1）与电气区固定架（20）联接，通过所述第三联结孔（109）将夹层（1）与所述底腔（3）固定联接，通过所述第四联结孔（110）将兆声波装置固定于夹层顶板（101）上，通过所述第五联结孔（113）将维修孔遮挡盖（6）固定于夹层顶板（101）上。

5.根据权利要求2所述的排风装置，其特征在于：所述底板（104）的顶部有斜度，一端为高位（114），另一端为低位（115），在低位（115）处设有排液口（116），用于将流至底部（104）的液体排走。

6.根据权利要求2所述的排风装置，其特征在于：所述顶板（101）上设有第一通孔（111）及第二通孔（112），所述底板（104）上设有与所述第一通孔（111）及第二通孔（112）相对应的孔。

7.根据权利要求6所述的排风装置，其特征在于：还包括喷淋臂（16，17，18）、喷淋臂遮挡环（2）及旋紧接头（8），所述喷淋臂（16，17，18）穿过所述第一通孔（111）及底板（104）上相应的孔，并用所述喷淋臂遮挡环（2）密封，兆声波装置盛液槽（4）的供液管和排液管穿过所述第二通孔（112）及底板（104）上相应的孔，在贯穿处用所述旋紧接头（8）密封。

8.根据权利要求1所述的排风装置，其特征在于：所述排风调整单元（7）包括：夹层排风口连接管（9）、工艺腔体排风口联接管（10）、排风管卡紧件（11）、夹层排风量调整机构（12）、工艺腔体排风量调整机构（13）、总排风腔体（14）及电气区进风口排风风量调整板（15）；所述夹层排风口连接管（9）的一端通过所述工艺腔体排风口联接管（10）与总排风腔体（14）联接，另一端通过所述排风管卡紧件（11）与所述夹层（1）紧固联接，所述夹层排风量调整机构（12）及工艺腔体排风量调整机构（13）设于所述工艺腔体排风口联接管（10）进入总排风腔体（14）的通道上，所述电气区进风口排风风量调整板（15）位于总排风腔体（14）的一侧。

9.根据权利要求8所述的排风装置，其特征在于：所述夹层排风量调整机构（12）、工艺腔体排风量调整机构（13）及电气区进风口排风风量调整板（15）均可自动调整或手动调整排风量，调整范围从全开到全闭。

10.根据权利要求2所述的排风装置，其特征在于：所述底腔（3）上设有盛液槽（301）和缓冲腔（302），所述盛液槽（301）分为高位和低位，所述缓冲腔（302）上设有进风口（303），所述进风口（303）为环形，并围绕底腔（3）的中心均布设置，且所述进风口（303）高于所述盛液槽（301）的低位，所述缓冲腔（302）底部设有用于腔体排风的排风口（304）和用于排放冷凝液体的排液口（305），所述排风口（304）顶部高度高于底板（104）的顶部。