[实用新型]一种电容式触摸屏双面镀膜磁控溅射生产线

权利要求书

1.一种电容式触摸屏双面镀膜磁控溅射生产线，其特征是：包括多个真空腔体和多个腔体支架，所述的真空腔体安装在腔体支架上，内部设有内传送系统，真空腔体依次分为进口真空段、进口缓冲真空段、进口过渡真空段、工艺镀膜真空段、出口过渡真空段、出口缓冲真空段和出口真空段七段；

所述的进口真空段，进口处设有翻板阀，两侧设有腔体维修门，附近设有由机械泵与罗兹泵组成的前级抽气系统，前级抽气系统通过抽气管道与进口真空段的底部连接；

所述的进口缓冲真空段与进口真空段连接处设有翻板阀或插板阀，进口缓冲真空段一侧设有六位二装分子泵高真空抽气系统，另一侧设有六位一装分子泵高真空抽气系统，进口缓冲真空段的底部通过分子泵抽气连接耦合器分别与前级抽气连接管道、六位二装分子泵高真空抽气系统和六位一装分子泵高真空抽气系统连接；进口缓冲真空段附近设有由机械泵与罗兹泵组成的前级抽气系统，前级抽气系统通过抽气管道与前级抽气连接管道连接；

所述的进口过渡真空段与进口缓冲真空段连接处设有翻板阀或插板阀，进口过渡真空段的两侧各安装有六位一装分子泵高真空抽气系统一组，六位一装分子泵高真空抽气系统错位布置，进口过渡真空段的底部通过分子泵抽气连接耦合器分别与分子泵高真空抽气系统和抽气连接管道连接；

所述的工艺镀膜真空段包括多个工艺真空模块和至少一个工艺隔离真空模块，真空隔离模块的一侧安装有六位三装分子泵门，另一侧安装有六位二装分子泵门；真空隔离模块底部通过分子泵抽气连接耦合器分别与六位三装分子泵门、六位二装分子泵门和抽气连接管道连接；每个工艺真空模块的两侧均安装有三位一装分子泵门和双阴极门，两侧的三位一装分子泵门与双阴极门错位布置，工艺真空模块的底部通过分子泵抽气连接耦合器分别与三位一装分子泵门和抽气连接管道连接；工艺镀膜真空段附近设有由机械泵与罗兹泵组成的前级抽气系统；前级抽气系统通过抽气管道与抽气连接管道连通；

所述的出口过渡真空段两侧设有六位一装分子泵高真空抽气系统，出口过渡真空段的底部通过分子泵抽气连接耦合器分别与分子泵高真空抽气系统和抽气连接管道连接；

所述的出口缓冲真空段与出口过渡真空段连接处设有翻板阀或插板阀，出口缓冲真空段的两侧设有六位一装分子泵高真空抽气系统，出口缓冲真空段的底部通过分子泵抽气连接耦合器分别与六位一装分子泵高真空抽气系统和前级抽气连接管道连接；出口缓冲真空段附近设有由机械泵与罗兹泵组成的前级抽气系统，前级抽气系统通过抽气管道与前级抽气连接管道连通；

所述的出口真空段与出口缓冲真空段连接处设有翻板阀或插板阀，出口真空段出口处设有翻板阀，两侧设有腔体维修门，附近设有由机械泵与罗兹泵组成的前级抽气系统，前级抽气系统通过抽气管道与出口真空段的底部连接。

2.如权利要求1所述的电容式触摸屏双面镀膜磁控溅射生产线，其特征是：还包括进片架、出片架和回片架，进片架设在进口真空段的进口附近，进片架附近设有进片平移台；出片架设在出口真空段的出口附近，出片架附近设有出片平移台；所述回片架与真空镀膜腔体平行，设置在真空镀膜腔体附近；所述进片架、出片架和回片架上设有外传送系统。

3.如权利要求1所述的电容式触摸屏双面镀膜磁控溅射生产线，其特征是：所述前级抽气系统连接的抽气管道上设有蝶阀。

4.如权利要求1所述的电容式触摸屏双面镀膜磁控溅射生产线，其特征是：所述真空镀膜腔体采用SUS304不锈钢焊接而成。

5.如权利要求1所述的电容式触摸屏双面镀膜磁控溅射生产线，其特征是：所述内传送系统由内摩擦R轮和磁导向组成。

6.如权利要求1所述的电容式触摸屏双面镀膜磁控溅射生产线，其特征是：真空镀膜腔体的上端还设有安装线槽。

7.如权利要求1所述的电容式触摸屏双面镀膜磁控溅射生产线，其特征是：所述外传送系统由外摩擦R轮、磁导向和安装支架组成。

8.如权利要求1、2、3、4、5、6或7所述的新型电容式触摸屏磁控溅射镀膜生产线，其特征是：还包括纯水冷却供给系统、压缩空气供给系统，设置在真空镀膜腔体的下方。