[实用新型]一种八英寸硅单晶硅片多线切割机有效
| 申请号： | 201220640903.2 | 申请日： | 2012-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN203046011U | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 范猛;张雪囡;郭红慧;孙红永;蒲福利;王少刚 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 李莉华 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 英寸 单晶硅 片多线 切割机 | ||
【权利要求书】：
1.一种八英寸硅单晶硅片多线切割机，包括导轨丝杠、工作台、砂浆喷嘴、槽轮和接片槽；所述导轨丝杠设于工作台上，所述导轨丝杠与工作台间从上到下依次设有工作台铁垫和绝缘垫，所述工作台配有砂浆喷嘴，所述砂浆喷嘴下设有接片槽，所述接片槽的两侧设有槽轮，所述槽轮上布有线网，其特征在于：所述工作台的下表面的中间位置设有一倒梯型内凹槽，用于夹持工件；所述砂浆喷嘴由两根水平管和九根下砂管组成，所述第一水平管下表面与第一至五根所述下砂管的上端垂直相交，所述第一至五根下砂管的下端又与第二水平管的上表面相交，所述第二水平管长于第一水平管，所述第二水平管的下表面与第六至九根所述下砂管垂直相交，所述第六至九根下砂管平均分为两组，每组均位于所述第二水平管的两端，两两下砂管间平行。
2.根据权利要求1所述的多线切割机，其特征在于：所述槽轮直径为250±5mm。
3.根据权利要求1所述的多线切割机，其特征在于：所述接片槽深230±5mm。
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