[实用新型]一种高频炉用水冷坩埚有效
| 申请号： | 201220651970.4 | 申请日： | 2012-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN202993824U | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 徐大超;宋军;杨超;王武平 | 申请（专利权）人： | 山东晶鑫晶体科技有限公司 |
| 主分类号： | F27B14/10 | 分类号： | F27B14/10;F27B14/06 |
| 代理公司： | 淄博佳和专利代理事务所 37223 | 代理人： | 孙爱华 |
| 地址： | 255201 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高频 水冷 坩埚 | ||
【权利要求书】：
1.一种高频炉用水冷坩埚，包括埚体（1）和底座（2），埚体（1）底部通过连接件与底座（2）固定连接，底座（2）设有冷却水管路进出口，其特征在于：所述的埚体（1）侧壁由多条纵向排布的铜方管（3）合围而成，相邻两铜方管（3）顶端相通，底端开口，与底座间形成一组冷却水回路。
2.根据权利要求1所述的一种高频炉用水冷坩埚，其特征在于：所述的底座（2）中空，底座（2）上设有冷却水进出口。
3.根据权利要求1所述的一种高频炉用水冷坩埚，其特征在于：所述的相邻两铜方管（3）连接面之间采用焊接密封。
4.根据权利要求1所述的一种高频炉用水冷坩埚，其特征在于：所述的埚体（1）底部通过不锈钢法兰与底座（2）固定连接。
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