[实用新型]可移动式密封装置有效
申请号: | 201220653964.2 | 申请日: | 2012-11-30 |
公开(公告)号: | CN203013681U | 公开(公告)日: | 2013-06-19 |
发明(设计)人: | 徐俊成;高浩;赵宏宇;李伟;贾星杰 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 韩国胜 |
地址: | 100015 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 移动式 密封 装置 | ||
1.一种可移动式密封装置,其特征在于,所述可移动式密封装置包括驱动装置和滑动装置,所述滑动装置包括滑动密封板(1)和两条平行的导轨(4),所述滑动密封板(1)可滑动安装于所述两条导轨(4)上,所述驱动装置与所述滑动密封板(1)连接,其连接位置在两条导轨(4)之间。
2.根据权利要求1所述的可移动式密封装置,其特征在于,所述滑动密封板(1)通过导向块(13)与所述导轨(4)配合。
3.根据权利要求2所述的可移动式密封装置,其特征在于,所述滑动密封板(1)开有垂直于导轨(4)的第一腰形槽(11),所述滑动密封板(1)与所述导向块(13)通过穿过所述第一腰形槽(11)的第一螺钉连接。
4.根据权利要求1-3任一项所述的可移动式密封装置,其特征在于,所述驱动装置为气缸或液压缸。
5.根据权利要求4所述的可移动式密封装置,其特征在于,所述驱动装置为气缸,所述气缸包括缸筒(5)、缸盖、活塞、活塞杆(8)和气缸支架(6),所述活塞杆(8)与所述滑动密封板(1)连接。
6.根据权利要求5所述的可移动式密封装置,其特征在于,所述驱动装置还包括限位传感器(7)。
7.根据权利要求6所述的可移动式密封装置,其特征在于,所述活塞杆(8)与所述滑动密封板(1)通过连接调节块(2)和连接块(3)连接,所述连接调节块(2)固定于所述滑动密封板(1)上且位于两条平行的导轨(4)之间,所述连接块(3)与活塞杆(8)连接,所述连接调节块(2)与所述连接块(3)连接。
8.根据权利要求7所述的可移动式密封装置,其特征在于,所述连接调节块(2)上开有平行于导轨(4)的第二腰形槽(12),所述连接调节块(2)与滑动密封板(1)通过穿过第二腰形槽(12)的第二螺钉连接。
9.根据权利要求8所述的可移动式密封装置,其特征在于,所述滑动密封板(1)的材料为非金属材料。
10.根据权利要求8所述的可移动式密封装置,其特征在于,所述第二螺钉的材料为非金属材料。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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