[实用新型]可移动式密封装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体工业领域，尤其涉及一种可以及时密封腔室的可移动式密封装置。

背景技术

随着半导体工艺设备的发展，对集成电路硅片的清洗制造工艺要求也越来越高。在集成电路清洗工艺过程中，对于腔室内部的微环境有较高的要求，为了保证一个良好的内部微环境，需要对硅片周围的腔室进行密封，以使硅片与周围的环境进行隔绝。然而，在硅片的抓取与放置（该动作主要由机械手来完成）过程中，腔室不可避免地与外部环境连通。为使硅片在清洗的过程中尽可能的减小外部环境对其造成的影响，在硅片放置完毕后，应该对腔室进行及时的密封。在机械手进入腔室之前，可移动式密封装置滑移到开启位置，以使机械手能够进入腔室中对硅片进行抓取与放置，在机械手退出腔室后，使用该装置对腔室进行及时密封，以保证腔室的工艺要求。传统的可移动式密封装置采用单导轨导向的单侧驱动，该密封装置的一个很大的缺陷就是在运行过程中容易出现自锁现象，而且驱动装置有一部分位于滑动密封板的上方，为了避免驱动装置产生的微小颗粒进入腔室中，需要对驱动装置增加保护罩以减小其对腔室微环境造成的影响，故此时的驱动装置体积比较大。

实用新型内容

（一）要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是提供一种不易出现自锁且小巧轻便的可移动式密封装置。

（二）技术方案

为达上述目的，本实用新型的可移动式密封装置包括驱动装置和滑动装置，所述滑动装置包括滑动密封板1和两条平行的导轨4，所述滑动密封板1可滑动安装于所述两条导轨4上，所述驱动装置与所述滑动密封板1连接，其连接位置在两条导轨4之间。

优选的，所述滑动密封板1通过导向块13与所述导轨4配合。

优选的，所述滑动密封板1开有垂直于导轨4的第一腰形槽11，所述滑动密封板1与所述导向块13通过穿过所述第一腰形槽11的第一螺钉连接。

优选的，所述驱动装置为气缸或液压缸。

优选的，所述驱动装置为气缸，所述气缸包括缸筒5、缸盖、活塞、活塞杆8和气缸支架6，所述活塞杆8与所述滑动密封板1连接。

优选的，所述驱动装置还包括限位传感器7。

优选的，所述活塞杆8与所述滑动密封板1通过连接调节块2和连接块3连接，所述连接调节块2固定于所述滑动密封板1上且位于两条平行的导轨4之间，所述连接块3与活塞杆8连接，所述连接调节块2与所述连接块3连接。

优选的，所述连接调节块2上开有平行于导轨4的第二腰形槽12，所述连接调节块2与滑动密封板1通过穿过第二腰形槽12的第二螺钉连接。

优选的，所述滑动密封板1的材料为非金属材料。

优选的，所述第二螺钉的材料为非金属材料。

（三）有益效果

本实用新型采用上述技术方案提供的装置，驱动装置与滑动密封板的连接位置在两条平行的导轨之间，并利用双导轨进行密封时的导向，使滑动密封板在运行过程中受力更加均匀，运行更顺畅，不会出现卡死和自锁现象，密封效果更加良好。同时，本实用新型所用到的驱动装置也较以前更加小巧，轻便。滑动密封板竖直安装时，驱动装置放置在滑动密封板的下方，虽然活塞杆在运行过程中有可能会产生微小颗粒，但是由于在工艺过程中，腔室顶部的层流风自上往下吹，可以及时将产生的微小颗粒吹入设备下方的灰区，而不会进入腔室的内部，最大程度的保证了硅片工艺过程中的洁净环境。

附图说明

图1是本实用新型可移动式密封装置的结构示意图；

图2是本实用新型可移动式密封装置开启时的安装示意图；

图3是本实用新型可移动式密封装置密封时的安装示意图；

图4是图1中驱动装置的结构示意图；

图5是图1中滑动密封板的结构示意图；

图6是图1中连接调节块的结构示意图；

图7是图1中连接调节块的剖视图；

图8是图1中连接块的结构示意图；

图9是图1中导轨的结构示意图；

图10是图1中导向块的结构示意图。

图中，1：滑动密封板；2：连接调节块；201：阶梯凹槽；3：连接块；301：阶梯轴；4：导轨；5：缸筒；6：气缸支架；7：限位传感器；8：活塞杆；9：腔室壁；10：腔室窗口；11：第一腰形槽；12：第二腰形槽；13：导向块。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的可移动式密封装置作进一步详细说明。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。