[实用新型]一种玻璃基板清洗单元有效
| 申请号： | 201220660038.8 | 申请日： | 2012-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN203030560U | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 黄兴成 | 申请（专利权）人： | 彩虹（佛山）平板显示有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 528300 广东省佛*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 清洗 单元 | ||
【权利要求书】：
1.一种玻璃基板清洗单元，其特征在于：包括与传送入腔室（1）内的玻璃基板（2）相对设置的主清洗喷嘴（3）和副清洗喷嘴（4），所述主清洗喷嘴（3）排布于腔室（1）的前段，副清洗喷嘴（4）排布于腔室（1）的后段，副清洗喷嘴（4）的喷射出口方向（5）与玻璃基板（2）的传送方向（6）之间的夹角a小于90度。
2.根据权利要求1所述一种玻璃基板清洗单元，其特征在于：所述副清洗喷嘴（4）的喷射出口方向（5）与玻璃基板（2）的传送方向（6）之间的夹角a小于等于45度、大于等于30度。
3.根据权利要求1所述一种玻璃基板清洗单元，其特征在于：所述主清洗喷嘴（3）的喷射出口方向（5）与玻璃基板（2）垂直。
4.根据权利要求1所述一种玻璃基板清洗单元，其特征在于：所述主清洗喷嘴（3）以及副清洗喷嘴（4）可转动。
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