[实用新型]单晶生长用石英安瓿内壁碳膜制备装置

权利要求书

1.一种单晶生长用石英安瓿内壁碳膜制备装置，其特征在于，包括：

在石英安瓿（1）的颈部（2）设置安瓿支架（4），所述安瓿支架（4）内设有通道；

所述通道内设置导流管（3），所述导流管（3）的一端插进所述石英安瓿（1）的底部，所述导流管（3）的另一端穿出所述安瓿支架（4）与排气管（7）相连接，所述排气管（7）的另一端与真空泵连接；

所述安瓿支架（4）上还设有进气管（8），所述进气管（8）内的碳膜裂解气体通过所述导流管（3）与所述颈部（2）之间的空隙进入所述石英安瓿（1）；

所述进气管（8）和所述排气管（7）上均设有流量计。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述安瓿支架（4）与所述颈部（2）的连接处设有第一密封装置（6）。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一密封装置（6）为密封圈和密封胶中的一种或多种。

4.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述导流管（3）与所述排气管（7）的连接处设有第二密封装置（5）。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述第二密封装置（5）为密封圈和密封胶中的一种或多种。

6.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述进气管（8）的流量为10-30ml/min，所述排气管（7）的流量为10-50ml/min。