[实用新型]高精度超大尺寸单面抛光机有效
| 申请号： | 201220675235.7 | 申请日： | 2012-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN203003626U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 张正钦;资朝红;黄震;陈志华;黄艳;李云江 | 申请（专利权）人： | 长沙永凯科技设备有限公司;湖南电子信息产业集团有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/24 | 分类号： | B24B7/24 |
| 代理公司： | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人： | 谢德珍 |
| 地址： | 410000 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高精度 超大 尺寸 单面 抛光机 | ||
【权利要求书】：
1.高精度超大尺寸单面抛光机，包括机座、固定在所述机座上的抛光机构和PLC控制器，其特征在于，所述抛光机构包括抛光盘和抛光液桶，所述抛光液桶通过导管连接至所述抛光盘的两侧，所述抛光盘安装在所述抛光机构的主轴承座上，所述抛光盘的表面粘贴有半导体晶片抛光布；所述PLC控制器通过导线管固定在所述机座的侧面并通过导线与其内部的各部分控制模块相连。
2.根据权利要求1所述的高精度超大尺寸单面抛光机，其特征在于，所述抛光盘包括上抛光盘和下抛光盘，所述上抛光盘固定在一导轨上，所述导轨与所述机座相连，所述上抛光盘的主轴与一升降气缸的活塞杆连接，所述下抛光盘的主轴与一减速电机相连。
3.根据权利要求2所述的高精度超大尺寸单面抛光机，其特征在于，所述导轨通过连杆机构与一摇摆电机相连。
4.根据权利要求2所述的高精度超大尺寸单面抛光机，其特征在于，所述升降气缸的后面连接有倾斜式气缸。
5.根据权利要求1所述的高精度超大尺寸单面抛光机，其特征在于，所述高精度超大尺寸单面抛光机的抛光盘尺寸为1700mm。
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