[实用新型]一种LPCVD系统

权利要求书

1.一种LPCVD系统，包括装载台、预热腔、工艺腔、冷却腔、卸载台、回传模块以及依次通过上述各部件的传输系统，其特征在于该传输系统上设有用于同时放置若干片玻璃基板的传输垫板，传输垫板的四周边缘设有挡边条，挡边条以内紧贴挡边条的传输垫板表面以及每片玻璃基板放置处之间的传输垫板表面设有凹槽。

2.根据权利要求1所述的LPCVD系统，其特征在于所述每片玻璃基板分别置于传输垫板上由凹槽形成的各个凸起平面上，每片玻璃基板的长边和短边分别大于各个凸起平面的长边和短边。

3.根据权利要求2所述的LPCVD系统，其特征在于所述各个凸起平面的形状、面积均相同。

4.根据权利要求1所述的LPCVD系统，其特征在于所述工艺腔内上部设有分区供气的喷淋系统。

5.根据权利要求1所述的LPCVD系统，其特征在于所述工艺腔中加热板内部设有分区加热的控温系统。

6.根据权利要求5所述的LPCVD系统，其特征在于所述加热板上设有用于支撑和加热传输垫板的凸起平面。

7.根据权利要求6所述的LPCVD系统，其特征在于所述传输垫板的长边和短边分别大于加热板上凸起平面的长边和短边。

8.根据权利要求1所述的LPCVD系统，其特征在于所述装载台上设有取片爪，取片爪与玻璃基板的侧面和底面接触，取片爪上与玻璃基板接触的部分设有缓冲垫。