[实用新型]晶体管特性测试探针台及测试系统有效
| 申请号： | 201220698612.9 | 申请日： | 2012-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN202975075U | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 彭充;徐国耀;高志伟;赵彦云 | 申请（专利权）人： | 深圳深爱半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 518118 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶体管 特性 测试 探针 系统 | ||
1.一种晶体管特性测试探针台，包括底座和支架，
所述底座包括底座本体和固定于所述底座本体上的支撑柱；
所述支架包括支架本体和固定于所述支架本体上的探针调节装置，所述支架本体通过所述支撑柱与所述底座本体固定连接；
所述晶体管特性测试探针台还包括与所述底座本体连接的托盘和固定于所述探针调节装置上且可通过所述探针调节装置调整位置的接线柱；
其特征在于，所述托盘为可导电的托盘；所述探针调节装置包括第一探针调节装置和第二探针调节装置，所述接线柱包括分别固定于所述第一探针调节装置和第二探针调节装置上的第一接线柱和第二接线柱；所述托盘、第一接线柱和第二接线柱分别与晶体管特性测试仪的三个探针连接。
2.根据权利要求1所述的晶体管特性测试探针台，其特征在于，所述托盘为真空吸盘。
3.根据权利要求1所述的晶体管特性测试探针台，其特征在于，所述底座包括设置在所述底座本体上可水平移动的托盘调节装置，所述托盘通过所述托盘调节装置与所述底座本体连接。
4.根据权利要求3所述的晶体管特性测试探针台，其特征在于，所述托盘调节装置包括通过转动使所述托盘调节装置相对于所述底座本体松开或压紧的调节杆。
5.根据权利要求1所述的晶体管特性测试探针台，其特征在于，所述接线柱包括接线柱本体和接线柱头，所述接线柱头通过所述接线柱本体与所述探针调节装置连接。
6.根据权利要求5所述的晶体管特性测试探针台，其特征在于，所述接线柱头通过螺钉与所述接线柱本体固定连接。
7.根据权利要求1所述的晶体管特性测试探针台，其特征在于，所述调节装置上设置有调节所述接线柱位置的调节旋钮。
8.根据权利要求1-7中任意一项所述的晶体管特性测试探针台，其特征在于，还包括显微镜。
9.一种晶体管特性测试系统，包括晶体管特性测试仪，其特征在于，还包括权利要求1至8任意一项所述的晶体管特性测试探针台。
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