[实用新型]晶体管特性测试探针台及测试系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种测试仪，特别是涉及一种晶体管特性测试探针台，还涉及一种晶体管特性测试系统。

背景技术

半导体硅片在形成双极结型晶体管（BJT）的发射区和基区之后，由于晶体管的基本结构已经完成，所以可以对晶体管的一些特性参数进行测量，一般使用晶体管特性测试仪测试晶体管的参数，如共射极静态电流放大倍数等。

传统的晶体管特性测试是将待测晶片放置在测试台上，用晶体管特性测试仪的三个探针对已经形成在待测晶片上的图形窗口进行接触，进而测出其参数。由于测试参数时需要三个探针都接触待测晶片对应的区域，操作难度大，耗时长。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种操作简单、耗时少的晶体管特性测试探针台。

一种晶体管特性测试探针台，包括底座和支架，所述底座包括底座本体和固定于所述底座本体上的支撑柱；所述支架包括支架本体和固定于所述支架本体上的探针调节装置，所述支架本体通过所述支撑柱与所述底座本体固定连接；所述晶体管特性测试探针台还包括与所述底座本体连接的托盘和固定于所述探针调节装置上且可通过所述探针调节装置调整位置的接线柱；所述托盘为可导电的托盘；所述探针调节装置包括第一探针调节装置和第二探针调节装置，所述接线柱包括分别固定于所述第一和第二探针调节装置上的第一接线柱和第二接线柱；所述托盘、第一和第二接线柱分别与晶体管特性测试仪的三个探针连接。

在其中一个实施例中，所述托盘为真空吸盘。

在其中一个实施例中，所述底座包括设置在所述底座本体上可水平移动的托盘调节装置，所述托盘通过所述托盘调节装置与所述底座本体连接。

在其中一个实施例中，所述托盘调节装置包括通过转动使所述托盘调节装置相对于所述底座本体松开或压紧的调节杆。

在其中一个实施例中，所述接线柱包括接线柱本体和接线柱头，所述接线柱头通过所述接线柱本体与所述探针调节装置连接。

在其中一个实施例中，所述接线柱头通过螺钉与所述接线柱本体固定连接。

在其中一个实施例中，所述调节装置上设置有调节所述接线柱位置的调节旋钮。

在其中一个实施例中，晶体管特性测试探针台还包括显微镜。

一种晶体管特性测试系统，包括晶体管特性测试仪，还包括上述任意一种晶体管特性测试探针台。

上述晶体管特性测试探针台，在对待测晶片进行参数测试时，将晶体管特性测试仪的三个探针分别固定在晶体管特性测试探针台的托盘、第一和第二接线柱上，将待测晶片放置在可导电的托盘上，通过调节两个探针调节装置来调整两个接线柱的位置，使固定在两个接线柱上的探针与待测的图形窗口接触，然后用晶体管特性测试仪对待测的图形窗口进行参数测试。由于只需要调节两个接线柱上的探针与待测的图形窗口接触便可进行参数测试，操作简单、耗时少。

附图说明

图1为一实施例中晶体管特性测试探针台的结构图。

具体实施方式

传统的晶体管特性测试是将待测晶片放置在测试台上，用晶体管特性测试仪的三个探针对已经形成在待测晶片上的图形窗口进行接触，进而测出其参数。由于测试参数时需要三个探针都接触待测晶片对应的区域，操作难度大，耗时长。

为了使晶体管特性测试操作简单并减少耗时，本实用新型提供一种晶体管特性测试探针台，如图1所述，包括底座100、托盘200、支架300和接线柱。

底座100包括底座本体120和支撑柱，支撑柱固定于底座本体120上，本实施例中支撑柱包括第一支撑柱140和第二支撑柱160，在其他实施例中支撑柱也可以为三个或四个。

托盘200可导电且与底座本体120连接。

支架300包括支架本体320和固定于支架本体320上的探针调节装置，支架本体320通过第一支撑柱140和第二支撑柱160与底座本体120固定连接；探针调节装置包括第一探针调节装置340和第二探针调节装置360。

接线柱包括第一接线柱420和第二接线柱440，第一接线柱420固定于第一探针调节装置340上，第二接线柱440固定于第二探针调节装置360上，通过调节第一探针调节装置340可调整第一接线柱420的位置，通过调节第二探针调节装置360可调整第二接线柱440的位置。

托盘200、第一接线柱420和第二接线柱440分别与晶体管特性测试仪的三个探针（即分别用于测试集电极、基极、发射极的探针）连接。