[实用新型]一种激光调阻机

权利要求书

一种激光调阻机，其特征在于：包括安装有计算机和控制电路的机体（1），所述机体（1）上安装有基台（2），所述基台（2）上安装有激光器系统（3），所述基台（2）由大理石制成。

根据权利要求1所述的激光调阻机，其特征在于：所述激光器系统（3）包括激光器分步动作控制系统运动系统（4）、探针升降运动系统（5）和激光器升降系统（6）。

 根据权利要求2所述的激光调阻机，其特征在于：所述激光器分步动作控制系统运动系统（4）包括采用空气悬浮技术的平面电机。

根据权利要求2所述的激光调阻机，其特征在于：所述探针升降系统（5）和激光器升降系统（6）分别垂直于激光器分步动作控制系统（4），所述探针升降系统（5）和激光器升降系统（6）垂直。

根据权利要求1~4任一所述的激光调阻机，其特征在于：所述基台（2）包括大理石平台（7）和大理石立柱（8），所述激光器分步动作控制系统（4）固定大大理石平台（7）上，所述探针升降系统（5）和激光器升降系统（6）固定在大理石立柱（8）上。

根据权利要求1所述的激光调阻机，其特征在于：还包括显示器组件（9），所述显示器组件（9）安装在机体（1）上。