[实用新型]一种激光调阻机

说明书

本实用新型涉及激光调阻技术领域，尤其涉及一种使用过程中不易变形、稳定、可靠的激光调阻机。 

激光调阻工艺已经成熟应用在厚膜、薄膜及半导体电路中，现今由于人们对器件的微型化要求越来越高甚至到苛刻的地步，电路的微型化要求也越来越高，在一些精密的厚、薄膜电路以及一些半导体电路中，对精密激光调阻机有着相当高的要求，而且这些电路的工艺只有激光调阻才能解决。除了基本的测量精度外，对产品的运动精度及定位精度要求也非常的高。由于激光调阻加工时激光器分步动作控制系统需要重复运动、探针需要重复升降，而且对运动效率要求非常高，整个高速运动对基台会产生一定的反作用力，这对加工产品位置会有一定的影响，另外传统的金属材料基台由于热账冷缩因素，随着温度的变化，台面也会有微量的变形，上述因素的影响对产品定位精度会造成大于10um以上的误差，这对于要求极高的精密调阻加工位置精度来说都是不允许的，所以精密激光调阻机对整个基台稳定性非常重要。

本实用新型主要是针对现有技术所存在的上述技术问题，提供一种使用过程中不易变形、稳定、可靠的激光调阻机。

本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：一种激光调阻机，包括安装有计算机和控制电路的机体，所述机体上安装有基台，所述基台上安装有激光器系统，所述基台由大理石制成。本实用新型的基台全部采用大理石结构，结构合理，能有效防止各运动系统在高速运动时其反作用力带来的基台振动，并且长时间使用过程中不会产生温度导致的基台变形，大大提高了整个激光调阻系统的位置精度，满足对位置要求极高的精细激光调阻加工，从实验情况来看效果非常理想。

作为优选，所述激光器系统包括激光器分步动作控制系统运动系统、探针升降运动系统和激光器升降系统。该结构使激光器的控制更加方便。

作为优选，所述激光器分步动作控制系统运动系统包括采用空气悬浮技术的平面电机。采用空气悬浮技术的平面电机，运动过程悬浮无摩擦力，运动速度及精度高。

作为优选，所述探针升降系统和激光器升降系统分别垂直于激光器分步动作控制系统，所述探针升降系统和激光器升降系统垂直。该结构紧凑合理，控制方便。

作为优选，所述基台包括大理石平台和大理石立柱，所述激光器分步动作控制系统固定大大理石平台上，所述探针升降系统和激光器升降系统固定在大理石立柱上。该结构提高了整套系统的稳定性。

作为优选，所述基台包括大理石平台和大理石立柱，所述激光器分步动作控制系统固定大大理石平台上，所述探针升降系统和激光器升降系统固定在大理石立柱上。该结构提高了整套系统的稳定性。

作为优选，还包括显示器组件，所述显示器组件安装在机体上。该结构便于工作人员操作。

本实用新型结构紧凑、合理、操作方便，并且能有效防止各运动系统在高速运动时其反作用力带来的基台振动，并且长时间使用不存在温度导致的细微变形的影响，大大提高了整个激光调阻系统的位置精度，满足对位置要求极高的精细激光调阻加工。

附图1为本实用新型一种激光调阻机的结构示意图。

附图2为本实用新型一种基台和激光器系统的装配结构示意图。

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的部分实施例。

实施例1：

参见附图1，本实用新型一种激光调阻机，包括安装有计算机和控制电路的机体1，所述机体1上安装有基台2，所述基台2上安装有激光器系统3，所述基台2由大理石制成，还包括显示器组件9，所述显示器组件9安装在机体1上。所述激光器系统3包括激光器分步动作控制系统运动系统4、探针升降运动系统5和激光器升降系统6。所述激光器分步动作控制系统运动系统4包括采用空气悬浮技术的平面电机。所述探针升降系统5和激光器升降系统6分别垂直于激光器分步动作控制系统4，所述探针升降系统5和激光器升降系统6垂直。所述基台2包括大理石平台7和大理石立柱8，所述激光器分步动作控制系统4固定大大理石平台7上，所述探针升降系统5和激光器升降系统6固定在大理石立柱8上。

本实用新型结构紧凑、合理、操作方便，并且能有效防止各运动系统在高速运动时其反作用力带来的基台振动，并且长时间使用不存在温度导致的细微变形的影响，大大提高了整个激光调阻系统的位置精度，满足对位置要求极高的精细激光调阻加工。

应理解，上述实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。