[实用新型]一种用于激光调阻的厚膜电路片基载片台有效

专利信息
申请号: 201220705007.X 申请日: 2012-12-19
公开(公告)号: CN203085508U 公开(公告)日: 2013-07-24
发明(设计)人: 何成鹏;程燕争;陈丽芳 申请(专利权)人: 武汉三工精密制造有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 代理人: 张瑾
地址: 430000 湖北省武汉市*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 激光 电路 片基载片台
【权利要求书】:

1.一种用于激光调阻的厚膜电路片基载片台,其特征在于:包括安装板(11)、绝缘电路片基平台(2),所述绝缘电路片基平台(2)上部设有真空吸附平台(1),所述真空吸附平台(1)表面设有多个气孔。

2.根据权利要求1所述的用于激光调阻的厚膜电路片基载片台,其特征在于:所述真空吸附平台(1)配置有可调节的电路片基顶起气缸(3)。

3. 根据权利要求1所述的用于激光调阻的厚膜电路片基载片台,其特征在于:所述绝缘电路片基平台(2)通过设置在底面中部的旋转支撑轴(6)安装在安装板(11),所述绝缘电路片基平台(2)设有调平机构。

4.根据权利要求3所述的用于激光调阻的厚膜电路片基载片台,其特征在于:所述调平机构为设置在电路片基平台(2)底面的多个调平螺杆(5),所述多个调平螺杆(5)均匀分布在电路片基平台(2)底面四周。

5.根据权利要求4所述的用于激光调阻的厚膜电路片基载片台,其特征在于:所述电路片基平台(2)为矩形,所述调平螺杆(5)为四个,分别位于所述电路片基平台(2)的底面四角上。

6.根据权利要求1或3所述的用于激光调阻的厚膜电路片基载片台,其特征在于:所述绝缘电路片基平台(2)配置有旋转调节机构,包括设有旋转调节螺杆(8)的旋转锁紧台(4),所述旋转锁紧台(4)上部设有带滑槽(10)和锁紧栓(9)的锁紧片(7),所述锁紧片(7)与绝缘电路片基平台(2)连接。

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