[实用新型]一种用于激光调阻的厚膜电路片基载片台有效
申请号: | 201220705007.X | 申请日: | 2012-12-19 |
公开(公告)号: | CN203085508U | 公开(公告)日: | 2013-07-24 |
发明(设计)人: | 何成鹏;程燕争;陈丽芳 | 申请(专利权)人: | 武汉三工精密制造有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人: | 张瑾 |
地址: | 430000 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 激光 电路 片基载片台 | ||
1.一种用于激光调阻的厚膜电路片基载片台,其特征在于:包括安装板(11)、绝缘电路片基平台(2),所述绝缘电路片基平台(2)上部设有真空吸附平台(1),所述真空吸附平台(1)表面设有多个气孔。
2.根据权利要求1所述的用于激光调阻的厚膜电路片基载片台,其特征在于:所述真空吸附平台(1)配置有可调节的电路片基顶起气缸(3)。
3. 根据权利要求1所述的用于激光调阻的厚膜电路片基载片台,其特征在于:所述绝缘电路片基平台(2)通过设置在底面中部的旋转支撑轴(6)安装在安装板(11),所述绝缘电路片基平台(2)设有调平机构。
4.根据权利要求3所述的用于激光调阻的厚膜电路片基载片台,其特征在于:所述调平机构为设置在电路片基平台(2)底面的多个调平螺杆(5),所述多个调平螺杆(5)均匀分布在电路片基平台(2)底面四周。
5.根据权利要求4所述的用于激光调阻的厚膜电路片基载片台,其特征在于:所述电路片基平台(2)为矩形,所述调平螺杆(5)为四个,分别位于所述电路片基平台(2)的底面四角上。
6.根据权利要求1或3所述的用于激光调阻的厚膜电路片基载片台,其特征在于:所述绝缘电路片基平台(2)配置有旋转调节机构,包括设有旋转调节螺杆(8)的旋转锁紧台(4),所述旋转锁紧台(4)上部设有带滑槽(10)和锁紧栓(9)的锁紧片(7),所述锁紧片(7)与绝缘电路片基平台(2)连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造