[实用新型]一种用于激光调阻的厚膜电路片基载片台有效
申请号: | 201220705007.X | 申请日: | 2012-12-19 |
公开(公告)号: | CN203085508U | 公开(公告)日: | 2013-07-24 |
发明(设计)人: | 何成鹏;程燕争;陈丽芳 | 申请(专利权)人: | 武汉三工精密制造有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人: | 张瑾 |
地址: | 430000 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 激光 电路 片基载片台 | ||
技术领域
本实用新型涉及电路片基承载技术领域,尤其涉及一种使用方便、电路片基不易移位的用于激光调阻的厚膜电路片基载片台。
背景技术
为了提高厚膜电路的精度,必须进行阻值调整。由于厚膜丝网印刷操作固有的不准确性,基板表面的不均匀及烧结条件的不重复性,厚膜电阻常出现正负误差,如果阻值超过标称值将无法修正,但是,一般情况下印刷烧成后阻值低于目标值的大约30%,所以要通过激光调整达到目标值。激光调阻是把一束聚焦的激光在微机的控制下定位到厚膜电路上,使厚膜电路待调部分的膜层气化切除以达到规定参数或阻值。调阻时局部温升使膜层玻璃熔化,气化部分阻值槽边缘受到玻璃覆盖,可填平基体表面被切割的介质。 通常,普通激光调阻的载片台只能起到放置厚膜电路片基的功能,而不能对片基进行定位,对载平台电路绝缘以及对厚膜电路片印刷的位置误差进行调整补偿功能,如被调阻厚膜电路片印刷电路的位置出现整体偏移,调阻时由软件定义位置的激光束和被调阻的厚膜电路片基对象的相对位置坐标会发生变化,激光束的聚焦焦点不能够正确的照射到厚膜电路上,从而导致待调部分的厚膜电路膜层气化切口不均或者根本无法气化。而且对于导电层在厚膜电路背后直接和未做绝缘处理的载片台接触造成短路会导致电阻测量结果的严重偏离。所以,普通的激光调阻机载片台对厚膜电路的适用性比较差,不能保证不同产品的不同质量要求。
发明内容
本实用新型主要是针对现有技术所存在的上述技术问题,提供一种使用方便、电路片基不易移位的用于激光调阻的厚膜电路片基载片台。
本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的:一种用于激光调阻的厚膜电路片基载片台,包括安装板、绝缘电路片基平台,所述绝缘电路片基平台上部设有真空吸附平台,所述真空吸附平台表面设有多个气孔。本实用新型通过配置真空吸附平台,增加了对片基进行吸附定位的功能,使片基在加工过程中不易移位,调高了加工质量和效率。
作为优选,所述真空吸附平台配置有可调节的电路片基顶起气缸。该结构无需使用气路快换接头,便于顶起厚膜电路片基,提高效率。
作为优选,所述绝缘电路片基平台通过设置在底面中部的旋转支撑轴安装在安装板,所述绝缘电路片基平台设有调平机构。该结构解决了普通载平台无法调节水平角度以和调阻设备激光的聚焦焦点平面保持平行,造成激光束的聚焦焦点偏离被调阻对象,从而导致电阻切槽的切口的深度不均,影响到电阻精度,提高了设备的长期稳定性和可靠性。
作为优选,所述调平机构为设置在电路片基平台底面的多个调平螺杆,所述多个调平螺杆均匀分布在电路片基平台底面四周。该结构紧凑合理,控制方便。
作为优选,所述电路片基平台为矩形,所述调平螺杆为四个,分别位于所述电路片基平台的底面四角上。该结构简单、使用方便。
作为优选,所述绝缘电路片基平台配置有旋转调节机构,包括设有旋转调节螺杆的旋转锁紧台,所述旋转锁紧台上部设有带滑槽和锁紧栓的锁紧片,所述锁紧片与绝缘电路片基平台连接。该结构装配和使用均比较方便。
本实用新型结构紧凑、合理、操作方便,增加了对片基进行吸附定位的功能,使片基在加工过程中不易移位,调高了加工质量和效率,提高了设备的长期稳定性和可靠性。
附图说明
附图1为本实用新型一种用于激光调阻的厚膜电路片基载片台结构示意图。
附图2为本实用新型一种用于激光调阻的厚膜电路片基载片台结构示意图。
具体实施方式
下面通过实施例,并结合附图,对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型的部分实施例。
实施例1:
参见附图1和2,本实用新型一种用于激光调阻的厚膜电路片基载片台,包括安装板11、矩形的绝缘电路片基平台2,所述绝缘电路片基平台2上部设有真空吸附平台1,所述真空吸附平台1表面设有多个气孔,并配置有可调节的电路片基顶起气缸3,所述绝缘电路片基平台2通过设置在底面中部的旋转支撑轴6安装在安装板11,所述绝缘电路片基平台2设有调平机构,所述调平机构为设置在电路片基平台2底面的四个调平螺杆5,所述多个调平螺杆5均匀分布在电路片基平台2的底面四角上,所述绝缘电路片基平台2配置有旋转调节机构,包括设有旋转调节螺杆8的旋转锁紧台4,所述旋转锁紧台4上部设有带滑槽10和锁紧栓9的锁紧片7,所述锁紧片7与绝缘电路片基平台2连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造