[实用新型]一种晶体基片超精密研抛实验用载物台

权利要求书

1.一种晶体基片超精密研抛实验用载物台，它包括载物盘，压块，其特征在于：载物盘与压块之间通过定位联接结构固定。

2.如权利要求1所述的一种晶体基片超精密研抛实验用载物台，其特征在于：所述定位联接结构为，在载物盘上与压块联接的一面设有圆孔、锥孔、十字槽、键槽、凹槽中的一种或组合，在压块上对应的设有圆柱销、圆锥销、十字块、平键、凸块中的任意一种或组合。

3.如权利要求1所述的一种晶体基片超精密研抛实验用载物台，其特征在于：所述定位联接结构为，在载物盘上与压块联接的一面设有圆柱销、圆锥销、十字块、平键、凸块中的任意一种或组合，在压块上对应的设有圆孔、锥孔、十字槽、键槽、凹槽中的一种或组合。

4.如权利要求1所述的一种晶体基片超精密研抛实验用载物台，其特征在于：在载物盘上与压块联接的一面以及在压块与载物盘连接的那一面上，对应位置分别设有圆孔、锥孔、十字槽、键槽、凹槽的一种或组合，载物盘与压块之间对应的选取圆柱销、圆锥销、十字块、平键、凸块中的任意一种或组合对两者进行联接。

5.如权利要求1所述的一种晶体基片超精密研抛实验用载物台，其特征在于：在载物盘上与压块联接的一面以及在压块与载物盘连接的那一面上分别设有端面齿。

6.如权利要求1所述的一种晶体基片超精密研抛实验用载物台，其特征在于：可以设有多个压块，在多个压块之间也可以采用定位联接结构固定。

7.如权利要求1所述的一种晶体基片超精密研抛实验用载物台，其特征在于：在所述压块上可以设有多个载物盘。