[实用新型]定量加料装置、处理站和处理设备有效
申请号: | 201220713085.4 | 申请日: | 2012-12-20 |
公开(公告)号: | CN203253420U | 公开(公告)日: | 2013-10-30 |
发明(设计)人: | 塔尼娅·维特曼;马蒂亚斯·尼泽;于尔根·施韦希肯迪克 | 申请(专利权)人: | 睿纳有限责任公司 |
主分类号: | B01J4/02 | 分类号: | B01J4/02;H01L21/306 |
代理公司: | 北京思益华伦专利代理事务所(普通合伙) 11418 | 代理人: | 李烨;赵飞 |
地址: | 德国居*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 定量 加料 装置 处理 设备 | ||
1.用于提供在对工件进行湿法化学处理的范围中使用的液态组分(F)的定量加料装置(1,1’),所述定量加料装置包括带有入口(3)和出口(4)的储存器(2)、至少一个通到所述储存器(2)中的导入管道(5)、以及至少一个可控制的排出阀(9)和导出管道(10,10’),其中所述储存器(2)具有用于压缩气体(G)的入流口(11),并且所述出口(4)设置在所述储存器(2)的下部区域(2’’)中,其特征在于,所述定量加料装置包括用于储存器内含物(F’)的称重装置(7)和设置在所述出口(4)下游的流量测量装置(8)。
2.根据权利要求1所述的定量加料装置(1,1’),其中用于所述压缩气体(G)的所述入流口(11)设置在所述储存器(2)的上部区域(2’)中。
3.根据权利要求1或2所述的定量加料装置(1,1’),其中在所述入流口(11)的上游设置有均压段(12)。
4.根据权利要求1或2所述的定量加料装置(1,1’),其中所述储存器(2)还分配有用于检测储存器压力的装置和/或过压阀。
5.根据权利要求1或2所述的定量加料装置(1,1’),所述定量加料装置具有多个排出阀(9)。
6.根据权利要求1或2所述的定量加料装置(1,1’),所述定量加料装置还具有与所述称重装置(7)、所述流量测量装置(8)和至少一个所述排出阀(9)连接的评估和控制单元(13)。
7.根据权利要求1或2所述的定量加料装置(1,1’),其中至少一个所述导入管道(5)和所述导出管道(10,10’)分别通到快速连接件中。
8.用于借助于处理介质(B)对工件进行湿法化学处理的处理站,所述处理介质具有至少一种液态组分(F),所述处理站包括处理池(15),终止在所述处理池(15)中的介质供应管道(19),以及至少一个根据 权利要求1至7之一中限定的定量加料装置(1,1’),其特征在于,所述定量加料装置的导入管道(5)能够借助于相应的组分供应管道(18)来供料,并且所述定量加料装置的导出管道(10,10’)通入到所述介质供应管道(19)中。
9.处理设备(14),具有:能够经由介质供应管道(19)供料的处理池(15),以用于借助于处理介质(B)对工件进行湿法化学处理,所述处理介质具有至少一种液态组分(F);至少一个具有单独的导出管道(10,10’)的根据权利要求1至7之一中限定的定量加料装置(1,1’),其特征在于,用于在整个设备(14)的范围中进行处理所需要的每种液态组分(F)分配有单独的定量加料装置(1,1’),并且其中每个导出管道(10,10’)经由可控制的切换阀(17)与所述处理池(15)的所述介质供应管道(19)连接,或者其中每个导出管道(10,10’)通到每个处理池(15)中并且具有选择阀(9’)。
10.根据权利要求9所述的处理设备(14),其中所述处理设备的一个或多个组分和介质供应管道(18,19)终止在用于一个或多个所述定量加料装置(1,1’)的通到快速连接件中的导入管道(5)和导出管道(10,10’)的容纳部中,并且/或者其中所述处理设备(14)具有至少一个凹槽,所述凹槽用于至少一个构造成定量加料模块的定量加料装置(1,1’),所述定量加料装置能够插入到所述凹槽中。
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