[实用新型]定量加料装置、处理站和处理设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及定量加料装置领域。尤其地，本实用新型涉及用于在对工件进行湿法化学处理的范围中使用的液态组分的定量加料装置领域，以及带有这种定量加料装置的处理设备。 

背景技术

制造例如为太阳能电池或半导体器件的物品典型地涉及例如为对衬底进行剥离（例如刻蚀）、表面改性（例如掺杂）、覆层（例如金属化）或清洗（例如冲洗）的一个或多个湿法化学的处理步骤，所述衬底通常包括硅、玻璃、陶瓷、环氧树脂或塑料或者由其组成。因为在大多数情况下，多个这种湿法化学的处理步骤彼此跟随，在市场上提供相应的设备，所述设备具有至少一个、然而大多多个彼此跟随的湿法化学的处理站，以下也简称为“站”。待处理的物品成批地（批量地）或者连续地（一列式）从一个站输送到下一个站。出于经济的原因，当今站已经在其尺寸方面尽可能地被标准化，以便当站失灵时或者应当在组建新的工艺时能够以简单的方式进行替换。典型地在分配给站中的一个的处理池中进行湿法化学的处理。这种处理设备也由名为“NIAK”的申请人销售。 

当然，这种设备的湿法化学的处理站中的每一个必须供应有一种或多种例如为（去离子）水、刻蚀液（酸或碱）、电解液等的介质。为此必要的是，将完成混合的处理介质或者组分本身以正确的量定量加料到池中。在此，高的配方精确性对不变的良好处理结果而言是不可缺少的。 

对此，引导液态组分（以下也称为“液体”）的组分供应管道与所谓的定量加料装置连接。通常，借助于单独的控制装置来测定要输出的液体量。这种控制装置从现有技术中已知并且可用于极其不同的目的。然而如果这种控制装置输出有误差的量，那么如果真是这样，在较长的时间之后才由于变差的处理结果而注意到这种情况。对误差的定位是耗费的并且导致整个设备的长的停机时间，这是不期望的。 

此外，通常必要的是，以足够的精确度提供小的量和大的量，其中已知的定量加料装置或者能够精确然而缓慢地进行定量加料，或者能够快速地大量地进行定量加料，然而对少的量而言是不适合的或者至少是不精确的。 

参考文献DE 10 2011 111 175涉及一种用于在对硅衬底进行单侧湿法化学处理的范围中精确地调节处理液的液位的方法和设备。此外，提出将泵作为用于调节处理液的液位进而对处理液进行定量加料的机构。然而，这种泵总是仅能够在狭窄地限定的运输区域中精确地调节，进而仅能够受限制地用作定量加料装置。 

典型地，每个处理站也具有用于介质或所述介质的组分的特殊的定量加料装置、控制装置等。其结果为，这种站包含大量连同流体管道的定量加料装置，所述流体管道典型地分别“根据需要”来铺设和连接。为了连接到中央组分供应装置上，空出在站的下侧、后侧和/或上侧的没有精确限定的区域。相应地，在组装由各个站组成的设备时，必须单独地考虑每个站的连接情况，这不仅是耗费时间的，也能够为连接误差源。 

通常，例如为了维修的目的，必须更换站的一些或者全部的定量加料或操纵元件。介质更换也能够使清洁或完全更换介质的流体管道、阀等是必要的。这意味着，至少整个站、并且可能甚至整个设备必须停止运行更长的时间段，因为通常大量存在的流体组件必须全部单独拆卸并且分开维护。根据意义地，这也适用于例如传感器或指示仪表的电组件。 

实用新型内容

因此，本实用新型的目的在于提供一种避免现有技术的缺点的设备。 

本实用新型应提供一种定量加料装置，所述定量加料装置允许对少量和大量的处理液的液态组分进行快速的并且可靠的定量加料，并且借助于所述定量加料装置使分配有所述定量加料装置的处理站的和/或分配有定量加料装置和/或处理站的处理设备的取决于维护的停机时间最小化。 

对此，定量加料装置应在确定液态组分的待定量加料的量时实现尽可能简单地识别测量误差。 

此外，本实用新型应缩短需要用于将定量加料装置连接到站和/或设备上的时间，并且在此减少或避免连接错误。本实用新型也应减少在对站的尤其是流体组件进行维护或更换时的耗费，并且缩短对此必要的时间。