[实用新型]石英坩埚水冷管及具有该水冷管的石英坩埚遮热板

权利要求书

1.一种石英坩埚水冷管，其特征在于，包括：

中空的半透明石英玻璃管；以及

穿设在所述半透明石英玻璃管内的不锈钢串水管。

2.如权利要求1所述的石英坩埚水冷管，其特征在于，所述不锈钢串水管包括进水口和出水口；所述进水口和出水口设在该不锈钢串水管的同一端。

3.如权利要求1所述的石英坩埚水冷管，其特征在于，所述不锈钢串水管包括进水口和出水口；所述进水口设在该不锈钢串水管的一端，所述出水口设在该不锈钢串水管的靠近所述端的侧壁上。

4.如权利要求1所述的石英坩埚水冷管，其特征在于，所述不锈钢串水管包括进水口和出水口；所述出水口设在该不锈钢串水管的一端，所述进水口设在该不锈钢串水管的靠近所述端的侧壁上。

5.一种石英坩埚遮热板，其特征在于，包括：

不锈钢支架；

固定在所述不锈钢支架上的第一组并排设置的水冷管；

固定在所述不锈钢支架上的第二组并排设置的水冷管，与所述第一组水冷管之间留有空间；

所述水冷管包括中空的石英玻璃管，以及穿设在所述石英玻璃管内的不锈钢串水管。

6.如权利要求5所述的石英坩埚遮热板，其特征在于，所述空间位置设有水套。

7.如权利要求5所述的石英坩埚遮热板，其特征在于，所述不锈钢串水管包括进水口和出水口；所述进水口和出水口设在该不锈钢串水管的同一侧。

8.如权利要求5所述的石英坩埚水冷管，其特征在于，所述不锈钢串水管包括进水口和出水口；所述进水口设在该不锈钢串水管的一端，所述出水口设在该不锈钢串水管的靠近所述端的侧壁上。

9.如权利要求5所述的石英坩埚水冷管，其特征在于，所述不锈钢串水管包括进水口和出水口；所述出水口设在该不锈钢串水管的一端，所述进水口设在该不锈钢串水管的靠近所述端的侧壁上。

10.如权利要求5所述的石英坩埚遮热板，其特征在于，所述水冷管的两端固定在所述不锈钢支架上。