[实用新型]石英坩埚水冷管及具有该水冷管的石英坩埚遮热板

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种遮热装置，特别是涉及一种在石英坩埚熔制过程中的水冷管及具有该水冷管的石英坩埚遮热板，属于石英坩埚熔制炉部件技术领域。

背景技术

随着大规模集成电路集成度的不断提高，单晶硅也向高纯度发展，从而对其在拉制过程中辅助性容器——石英坩埚的要求也越来越高。

目前的石英坩埚大部分是采用电弧法来熔制，在熔制过程中通过电极放电产生高温电弧来熔化石英砂，电弧焰的高温会对石英坩埚熔制设备的其他部件产生副作用，因此需在模具上方需要加装遮热装置。

遮热装置采用的多为内部中空结构，内部通有循环冷却水，金属材质。其中的遮热板由金属架、不透明石英板和石英布组成。具体而言，遮热板外围由金属架支撑，遮热板中间由两层半圆型的不透明石英板组合而成，其余部分由方型石英板构成，金属架由石英布包裹着，防止其氧化。

目前的遮热板及遮热装置存在以下缺陷：

1)熔制过程中石英板容易反应生成一层附着物。

2)金属部位容易裸露在弧光之下会不断氧化，在熔制过程中氧化物会掉落正在熔制的坩埚中，从而影响坩埚的品质和使用效果。同时还会造成漏点、打火，焊点脱落，影响坩埚生产。

3)由于金属架内有循环水，焊点脱落还将导致金属架漏水，水会直接掉落至坩埚内，影响坩埚质量，甚至造成生产事故。

4)石英布要频繁更换，而且在电弧高温下易氧化。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种石英坩埚水冷管及具有该水冷管的石英坩埚遮热板，以解决目前坩埚生产过程中由遮热板引起的氧化物脱落、漏水导致坩埚品质不佳，影响坩埚生产的技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种石英坩埚水冷管，包括：中空的半透明石英玻璃管；以及穿设在所述半透明石英玻璃管内的不锈钢串水管。

一种石英坩埚遮热板，包括：不锈钢支架；固定在所述不锈钢支架上的第一组水冷管；固定在所述不锈钢支架上的第二组水冷管，与所述第一组水冷管之间留有空间；所述水冷管包括中空的石英玻璃管，以及穿设在所述石英玻璃管内的不锈钢串水管。

所述不锈钢串水管包括进水口和出水口；所述进水口和出水口设在该不锈钢串水管的同一端。

所述不锈钢串水管包括进水口和出水口；所述进水口设在该不锈钢串水管的一端，所述出水口设在该不锈钢串水管的靠近所述端的侧壁上。

所述不锈钢串水管包括进水口和出水口；所述出水口设在该不锈钢串水管的一端，所述进水口设在该不锈钢串水管的靠近所述端的侧壁上。

所述空间位置设有水套。

所述水冷管的两端固定在所述不锈钢支架上。采用本实用新型的石英坩埚水冷管及具有该水冷管的石英坩埚遮热板，采用石英玻璃管作为遮热主体，热膨胀系数低，不易氧化，热稳定性好；整体上结构简单，易安装，冷却效果好；同时热量不易散失，使得遮热效果改善；且脱落的附着物明显减少。

附图说明

在下文中将参照以下附图仅通过例子更具体地描述本实用新型的优选实施例：

图1是根据本实用新型的一个实施例的石英坩埚遮热板的结构示意图；

图2是图1的石英坩埚遮热板中的水冷管的一种实施方式的结构示意图；

图3是图2的水冷管中的不锈钢串水管的一种实施方式的结构示意图。

在上述的各附图中，相似的附图标记应被理解为表示相同、相似或者相应的特征或功能。

具体实施方式

在以下优选的实施例的具体描述中，将参考构成本实用新型一部分的所附的附图。所附的附图通过示例的方式示出了能够实现本实用新型的特定的实施例。示例的实施例并不旨在穷尽根据本实用新型的所有实施例。可以理解，在不偏离本实用新型的范围的前提下，可以利用其他实施例，也可以进行结构性或者逻辑性的修改。因此，以下的具体描述并非限制性的，且本实用新型的范围由所附的权利要求所限定。

在以下的具体描述中，参考了所附的附图。附图构成了本实用新型的一部分，在附图中通过示例的方式示出了能够实施本实用新型的特定的实施例。就这一点而言，方向性的术语，例如“左”、“右”“顶部”、“底部”、“前”、“后”等，参考附图中描述的方向使用。因此本实用新型的实施例的部件可被置于多种不同的方向，方向性的术语是用于示例的目的而非限制性的。可以理解，在不偏离本实用新型的范围的前提下，可以利用其他实施例，也可以进行结构性或者逻辑性修改。因此，以下的具体描述并非限制性的，且本实用新型的范围由所附的权利要求所限定。