[实用新型]一种用于触摸屏的ITO膜有效
| 申请号： | 201220718827.2 | 申请日： | 2012-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN203602703U | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 沈国阳 | 申请（专利权）人： | 南昌欧菲光科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人： | 施秀瑾 |
| 地址： | 330000 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 触摸屏 ito | ||
【权利要求书】：
1.一种用于触摸屏的ITO膜，该膜包括透明基体（1）和镀覆在所述透明基体上的膜层，其特征在于：所述膜层包括自透明基体（1）上表面依次向上排列的底层（2）、中间层（3）和第一面层（4），所述底层（2）为SiO2或Al2O3；所述中间层（3）为Si3N4或Nb2O5；所述第一面层（4）为ITO层。
2.根据权利要求1所述的用于触摸屏的ITO膜，其特征在于：所述底层（2）、中间层（3）和第一面层（4）均为单层结构。
3.根据权利要求1所述的用于触摸屏的ITO膜，其特征在于：所述透明基体（1）的厚度为50-188μm，所述透明基体（1）为聚对苯二甲酸乙二醇酯或聚亚胺。
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