[实用新型]一种异物检测装置

权利要求书

1.一种异物检测装置，包括异物扫描区和异物确认区，其特征在于，在所述异物扫描区和所述异物确认区之间设有异物高度检测区，

所述异物扫描区，用于通过扫描检测基板上的异物的坐标和面积；

所述异物高度检测区，用于检测所述异物扫描区检测出来的异物的高度是否超过预设规格；

所述异物确认区，用于对所述检测出来的异物的面积和高度进行确认，并存储相应异物的面积和高度的信息。

2.根据权利要求1所述的异物检测装置，其特征在于，所述异物高度检测区内设有检测仪基台，在所述检测仪基台的一侧设有固定检出系统，所述固定检出系统包括激光发射器和激光接收器，在所述检测仪基台的另一侧设有反射平面镜。

3.根据权利要求2所述的异物检测装置，其特征在于，所述固定检出系统和反射平面镜根据所述预设规格的不同，同时进行升降并固定，以确定异物高度是否超过预设规格。

4.根据权利要求1、2或3所述的异物检测装置，其特征在于，所述异物确认区中设有3D镜头，所述3D镜头用于对所述检测出来的异物的高度进行确认。

5.根据权利要求4所述的异物检测装置，其特征在于，所述异物确认区中还设有2D镜头，所述2D镜头用于对所述检测出来的异物的面积进行确认。

6.根据权利要求5所述的异物检测装置，其特征在于，所述异物确认区中还设有控制系统，用于控制所述2D镜头和3D镜头进行切换测量。