[实用新型]一种异物检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及异物检测技术领域，尤其涉及一种异物检测装置。

背景技术

现有技术中，薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)用异物检测装置，如图1所示，主要包括：异物扫描区101和异物确认区102。此外，图1中的107表示基板；103表示扫描区2D镜头，用于扫描检测异物面积；104表示滚轮，用于为基板107的传动提供动力；105表示固定夹子，用于固定基板107；106表示确认区2D镜头，用于确认基板107上的缺陷面积(即异物面积)的大小。

然而，现有技术中的异物检测装置通常采用对基板表面异物进行拍照、像素比对，计算出异物的面积，并未对异物进行高度测量，这样通常会忽视一些面积小、高度高的异物；而正是这样的异物竖直嵌入基板表面，经过多道加热固化后，在修补阶段又未得到处理，从而会造成后续对盒工艺中的数据线断开(DO，Data Open)和数据线栅线短路(DGS，Date Gate Short)现象高发。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种异物检测装置，以实现对异物的面积和高度测量，避免对盒工艺中的DO和DGS现象高发。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种异物检测装置，包括异物扫描区和异物确认区，在所述异物扫描区和所述异物确认区之间设有异物高度检测区，

所述异物扫描区，用于通过扫描检测基板上的异物的坐标和面积；

所述异物高度检测区，用于检测所述异物扫描区检测出来的异物的高度是否超过预设规格；

所述异物确认区，用于对所述检测出来的异物的面积和高度进行确认，并存储相应异物的面积和高度的信息。

进一步地，所述异物高度检测区内设有检测仪基台，在所述检测仪基台的一侧设有固定检出系统，所述固定检出系统包括激光发射器和激光接收器，在所述检测仪基台的另一侧设有反射平面镜。

进一步地，所述固定检出系统和反射平面镜根据所述预设规格的不同，同时进行升降并固定，以确定异物高度是否超过预设规格。

进一步地，所述异物确认区中设有3D镜头，所述3D镜头用于对所述检测出来的异物的高度进行确认。

进一步地，所述异物确认区中还设有2D镜头，所述2D镜头用于对所述检测出来的异物的面积进行确认。

进一步地，所述异物确认区中还设有控制系统，用于控制所述2D镜头和3D镜头进行切换测量。

本实用新型所提供的一种异物检测装置，通过水平面和垂直面的两次检测，对异物进行面积检测和高度判定，从而提高了异物检出率，减少了在对盒工艺中的DO和DGS现象，提高了生产效率和良品率。

附图说明

图1是现有技术中TFT-LCD用异物检测装置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例的一种异物检测装置的结构示意图一；

图3是本实用新型实施例的一种异物检测装置的结构示意图二；

图4是本实用新型实施例的固定检出系统进行异物高度检测的示意图一；

图5是本实用新型实施例的固定检出系统进行异物高度检测的示意图二；

图6是本实用新型实施例的基于白光干涉原理的异物高度确认操作示意图；

图7是本实用新型实施例的单色光干涉原理示意图；

图8是本实用新型实施例的白光干涉原理示意图。

附图标记说明：

101 异物扫描区；102 异物确认区；103 扫描区2D镜头；104 滚轮；105 固定夹子；106 确认区2D镜头；107 基板；108 异物高度检测区；109 异物高度检测的3D镜头；110 平面反射镜；111 激光发射器；112 激光接收器；113 面积大、高度低的异物；114 面积小、高度高的异物；115 3D参考平面；116 3D待测平面；117 CCD镜头；118 白光光源；119 被测异物。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型的技术方案进一步详细阐述。

为实现对异物的面积和高度测量，本实用新型提供一种异物检测装置，如图2所示，该装置主要包括：异物扫描区101、异物确认区102和异物高度检测区108。其中，异物高度检测区108设于异物扫描区101和异物确认区102之间。