[实用新型]扩散石英舟

权利要求书

1.一种扩散石英舟，用于放置硅片（1）进行扩散处理，其特征在于：包括一个支撑骨架和位于支撑骨架两端的两块面板（2），所述的两块面板（2）上均开有用于气流通过的通孔（9），所述的支撑骨架包括位于底部的底固定条（3）、设置在底固定条（3）上的支撑条（5）和用于围护硅片（1）的两条侧面横杆（4），所述的两条侧面横杆（4）之间设置有至少两根龙骨（7）。

2.如权利要求1所述的扩散石英舟，其特征在于：所述支撑条（5）上具有多个第一插槽（6）。

3.如权利要求1或2所述的扩散石英舟，其特征在于：所述龙骨（7）正对硅片的方向设置有多个第二插槽（8）。

4.如权利要求3所述的扩散石英舟，其特征在于：所述的底固定条（3）为2根，支撑条（5）为6根，龙骨（7）为4根，所述的4根龙骨（7）均布在所述的侧面横杆（4）上将扩散石英舟分为三格，每格内均设置有两个支撑条（5）。

5.如权利要求4所述的扩散石英舟，其特征在于：所述的第一插槽（6）和第二插槽（8）的个数均为20-200。

6.如权利要求5所述的扩散石英舟，其特征在于：所述的第一插槽（6）和第二插槽（8）的个数均为50。

7.如权利要求4所述的扩散石英舟，其特征在于：所述第一插槽（6）和第二插槽（8）的宽度均为0.1mm-3mm。

8.如权利要求7所述的扩散石英舟，其特征在于：所述的第一插槽（6）和第二插槽（8）的宽度均为1.5mm。