[实用新型]输送晶圆用升降装置

权利要求书

1.输送晶圆用升降装置，其特征在于，包括：

固定基板；

升降驱动装置，所述升降驱动机设置在固定基板上，用于提供升降驱动力；

传动装置，所述传动装置用于传递升降驱动力；

所述升降驱动装置与晶圆固定装置通过传动装置传动连接，升降驱动装置驱动传动装置升降。

2.根据权利要求1所述的输送晶圆用升降装置，其特征在于，所述升降装置还包括用于提供导向的导向装置；所述导向装置与固定基板连接。

3.根据权利要求2所述的输送晶圆用升降装置，其特征在于，所述导向装置包括导轨和滑块，所述滑块设置于导轨上且可沿导轨升降；所述导轨安装于固定基板上，所述滑块传动装置连接。

4.根据权利要求3所述的输送晶圆用升降装置，其特征在于，所述导轨数目为两根，滑块为两个；每个导轨上设置一个滑块，两个滑块均与升降基座连接；升降基座与传动装置连接。

5.根据权利要求1所述的输送晶圆用升降装置，其特征在于，所述升降装置还包括感应限位装置，所述感应限位装置设置在所述固定基板上，用于感应所述传动装置是否到达指定位置，并在所述传动装置到达指定位置后发出电信号。

6.根据权利要求1所述的输送晶圆用升降装置，其特征在于，所述升降驱动装置为电机。

7.根据权利要求1所述的输送晶圆用升降装置，其特征在于，所述传动装置为传动带、传动链、传动齿轮、丝杆螺母中任意一种。