[发明专利]分束器以及观察装置

权利要求书

1.一种观察装置，其特征在于，具备：

分束器，其具有：第一平行平面板，其具有平行的第一面以及第二面，具有比空气高的折射率；第二平行平面板，其具有第三面以及第四面，具有与上述第一平行平面板相同的折射率，该第三面配置成与上述第一面在同一平面上，该第四面配置成与上述第二面在同一平面上；以及光分离部，其夹在上述第一平行平面板与上述第二平行平面板之间，使从上述第一面以及上述第三面侧入射的入射光的T%透射到上述第二面以及上述第四面侧，并且使从上述第一面以及上述第三面侧入射的入射光的(100-T)%向与上述第一面至上述第四面平行的方向反射，其中，0<T<100；

第一观察光学系统，其用于对观察对象物整体进行观察；以及

第二观察光学系统，其用于将上述观察对象物的一部分放大来进行观察，

其中，上述第一平行平面板以及上述第二平行平面板具备减光部，该减光部在从上述第一面和上述第三面侧入射到上述光分离部的入射光以及从上述光分离部透射到上述第二面和上述第四面侧的透射光不通过的区域，使从上述第一面以及上述第三面侧入射的入射光的T%透射到上述第二面以及上述第四面侧，

上述分束器配置成上述第一面以及上述第三面与上述观察对象物相对置，透过了上述光分离部以及上述减光部的透射光被导入上述第一观察光学系统，被上述光分离部反射的反射光被导入上述第二观察光学系统。

2.根据权利要求1所述的观察装置，其特征在于，

上述减光部由透射率T%的减光膜构成，该减光膜粘贴在与上述光分离部的反射面连续的上述第一平行平面板以及上述第二平行平面板的表面上。

3.根据权利要求1或2所述的观察装置，其特征在于，

上述T是50。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的观察装置，其特征在于，

上述第一平行平面板以及上述第二平行平面板由具有1.4以上的折射率的透光性的物质形成。

5.一种观察装置，其特征在于，具备：

第一分束器以及第二分束器，它们各自具有：第一平行平面板，其具有平行的第一面以及第二面，具有比空气高的折射率；第二平行平面板，其具有第三面以及第四面，具有与上述第一平行平面板相同的折射率，该第三面配置成与上述第一面在同一平面上，该第四面配置成与上述第二面在同一平面上；以及光分离部，其夹在上述第一平行平面板与上述第二平行平面板之间，使从上述第一面以及上述第三面侧入射的入射光的T%透射到上述第二面以及上述第四面侧，并且使从上述第一面以及上述第三面侧入射的入射光的(100-T)%向与上述第一面至上述第四面平行的方向反射，其中，0<T<100；

第一观察光学系统，其用于对观察对象物整体进行观察；

第二观察光学系统，其用于将上述观察对象物的一部分放大来进行观察；

第一照明光学系统，其用于使用来自第一照明光源的光对上述观察对象物进行照明；以及

第二照明光学系统，其用于使用来自第二照明光源的光对上述观察对象物进行照明，

其中，上述第一平行平面板以及上述第二平行平面板具备减光部，该减光部在从上述第一面和上述第三面侧入射到上述光分离部的入射光以及从上述光分离部透射到上述第二面和上述第四面侧的透射光不通过的区域，使从上述第一面以及上述第三面侧入射的入射光的T%透射到上述第二面以及上述第四面侧，

上述第一分束器以及上述第二分束器配置成各自的上述第一面以及上述第三面隔着上述观察对象物相对置，

上述第一分束器配置成透过了上述光分离部以及上述减光部的透射光被导入上述第一观察光学系统，被上述光分离部反射的反射光被导入上述第二观察光学系统，

上述第二分束器配置成来自上述第一照明光源的光经由上述第一分束器以及上述观察对象物从上述第一面以及上述第三面侧入射，来自上述第二照明光源的光从与上述第一面至上述第四面平行的方向入射并反射到上述第一面以及上述第三面侧。