[发明专利]半导体装置的检验装置、检验系统、检验方法、以及检验完成的半导体装置的生产方法

权利要求书

1.一种检验装置，其对半导体装置的输出信号进行检验，并具有：

监视器线路；

监视器装置，其对监视器线路上的信号进行检测；

多个检验电路，其被连接于监视器线路，

各个检验电路具有：

半导体装置支承件，其上能够设置半导体装置，且具有使信号从所设置的半导体装置输入的信号端子；

第一电阻器，其被连接在信号端子与监视器线路之间；

选择器端子；

第一二极管，其以使选择器端子侧成为阴极的方式而被连接在信号端子与选择器端子之间。

2.如权利要求1所述的检验装置，其中，

还具备选择器装置，所述选择器装置能够执行如下的动作，即，对多个选择器端子中的第一选择器端子施加第一电位、而对其他的选择器端子施加低于第一电位的第二电位的动作，以及对多个选择器端子中的第二选择器端子施加第一电位、而对其他的选择器端子施加第二电位的动作。

3.如权利要求2所述的检验装置，其中，

第一电位V1、高电位VH1以及正向电压VF11满足如下的关系，即，

V1＞VH1－VF11，

其中，所述高电位VH1为，被输入至与第一电位的施加对象的选择器端子相对应的信号端子中的信号的高电位，

所述正向电压VF11为，与第一电位的施加对象的选择器端子相对应的第一二极管的正向电压，

第二电位V2、高电位VH2以及正向电压VF12满足如下的关系，即，

V2＜VH2－VF12，

其中，所述高电位VH2为，能够被输入至与第二电位的施加对象的选择器端子相对应的信号端子中的信号的高电位，

所述正向电压VF12为，与第二电位的施加对象的选择器端子相对应的第一二极管的正向电压。

4.如权利要求1至3中的任意一项所述的检验装置，其中，

各个检验电路具有第二二极管，所述第二二极管以使监视器线路侧成为阴极的方式而相对于第一电阻器并联连接。

5.如权利要求4所述的检验装置，其中，

低电位VL1、第二电位V2、正向电压VF12、以及正向电压VF22满足如下的关系，即，

V2＋VF12＜VL1＋VF22，

其中，所述低电位VL1为，被输入至与第一电位的施加对象的选择器端子相对应的信号端子中的信号的低电位，

所述正向电压VF12为，与第二电位的施加对象的选择器端子相对应的第一二极管的正向电压，

所述正向电压VF22为，与第二电位的施加对象的选择器端子相对应的第二二极管的正向电压。

6.如权利要求1至5中的任意一项所述的检验装置，其中，

各个检验电路具有第二电阻器，所述第二电阻器被连接在连接部与信号端子之间，所述连接部将第一二极管的阳极和第一电阻器连接在一起。

7.如权利要求1至6中的任意一项所述的检验装置，其中，

各个半导体装置支承件具有：向所设置的半导体装置供给高电位的高电位端子、和向所设置的半导体装置供给低电位的低电位端子，

多个检验电路各自具有被连接在高电位端子与信号端子之间的第三电阻器。

8.如权利要求1至6中的任意一项所述的检验装置，其中，

各个半导体装置支承件具有：向所设置的半导体装置供给高电位的高电位端子、和向所设置的半导体装置供给低电位的低电位端子，

多个检验电路各自具有被连接在低电位端子与信号端子之间的第四电阻器。

9.一种检验系统，

其具有多个权利要求1所述的检验装置，

各个检验装置的监视器线路以及监视器装置为独立，

各个检验装置所具有的选择器端子与其他的检验装置的选择器端子被共通化。