[发明专利]半导体装置的检验装置、检验系统、检验方法、以及检验完成的半导体装置的生产方法

说明书

技术领域

本说明书所公开的技术涉及一种半导体装置。 

背景技术

在日本特许公开公报2004-257921号（以下，称为专利文献1）中，公开了一种半导体装置的老化检验方法。在该检验方法中所使用的检验装置中，在共通的电流计上连接有多个半导体装置。在该检验方法中，通过对被输入至各个半导体装置中的信号进行控制，从而仅使所选择的一个半导体装置导通，而不使其他的半导体装置导通。由此，通过电流计来检测出所选择的半导体装置的通电电流，从而试验出所选择的半导体装置是否适当地进行动作。当对一个半导体装置的检验结束后，选择另一个半导体装置，并对该半导体装置进行检验。通过这种方式，从而实施了对全部的半导体装置的检验。 

发明内容

发明所要解决的课题 

在专利文献1的检验方法中，当检验对象的多个半导体装置中包含导通不良的半导体装置时，将无法进行适当的检验。另外，导通不良的半导体装置是指，即使输入不使其导通的信号也会导通（即，“ON”）的半导体装置。即，当包含有导通不良的半导体装置时，在所选择的半导体装置的检验中，未被选择的导通不良的半导体装置也将导通。因此，在电流计中，除所选择的半导体装置的通电电流以外，还流动有导通不良的半导体装置的通电电流。因此，无法对所选择的半导体装置的通电电流进行检测，从而无法实施准确的检验。 

用于解决课题的方法 

本说明书所公开的检验装置对半导体装置的输出信号进行检验。该检验装置具有：监视器线路；监视器装置，其对监视器线路上的信号进行检测；多个检验电路，其被连接于监视器线路。各个检验电路具有：半导体装置支承件，其上能够设置半导体装置，且具有使信号从所设置的半导体装置输入的信号端子；第一电阻器，其被连接在信号端子与监视器线路之间；选择器端子；第一二极管，其以使选择器端子侧成为阴极的方式而被连接在信号端子与选择器端子之间。 

在图1中，作为示例而图示了上述检验装置的一个实施方式。在图1中，附图标记100为监视器装置，附图标记102为监视器线路，附图标记104为检验电路。另外，虽然在图1中图示了两个检验电路104a、104b，然而也可以将两个以上的检验电路连接在监视器线路上。此外，附图标记110为半导体装置支承件，附图标记112为半导体装置，附图标记114为第一电阻器，附图标记116为第一二极管，附图标记118为选择器端子，附图标记120为信号端子。 

在使用该检验装置来实施检验时，从被设置在检验装置上的半导体装置中选择一个半导体装置，并对具有所选择的半导体装置的、检验电路的选择器端子施加第一电位。对其他的检验电路的选择器端子施加低于第一电位的第二电位。例如，当选择了图1中的半导体装置112a时，对选择器端子118a施加第一电位V1，而对选择器端子118b施加第二电位V2。当对选择器端子118a施加第一电位V1时，第一二极管116a不导通。因此，从半导体装置112a向信号端子120a输出的信号，被输出至监视器线路102上。另一方面，在对选择器端子118b施加了第二电位V2的状态下，当信号端子120b的电位上升时，第一二极管116b导通。由此，防止了信号端子120b的电位的上升。因此，防止了来自未被选择的半导体装置112b的信号被输出至监视器线路102上的情况。因此，能够通过监视器装置100而准确地对所选择的半导体装置112a的输出信号进行检测。如此，根据该检验装置，能够准确地对各个半导体装置进行检验。 

此外，本说明书提供一种利用检验装置而对半导体装置的输出信号进行检验的检验方法。检验装置具有：监视器线路；多个检验电路，其被连接于监视器线路。各个检验电路具有：半导体装置支承件，其上能够设置半导体装置，且具有使信号从所设置的半导体装置输入的信号端子；第一电阻器， 其被连接在信号端子与监视器线路之间；选择器端子；第一二极管，其以使选择器端子侧成为阴极的方式而被连接在信号端子与选择器端子之间。检验方法具有：在各个半导体装置支承件上设置半导体装置的步骤；在对多个选择器端子中的第一选择器端子施加了第一电位、而对其他的选择器端子施加了低于第一电位的第二电位的状态下，对监视器线路上的信号进行检测的步骤；在对多个选择器端子中的第二选择器端子施加了第一电位、而对其他的选择器端子施加了第二电位的状态下，对监视器线路上的信号进行检测的步骤。