[发明专利]基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，其特征在于，具有：

第1输送路以及第2输送路，它们以任意的长度沿水平方向相互平行延伸；

第1往复移送装置，其具有装载一张基板的载物台，能够在设置于所述第1输送路的一端的第1装运位置与设置于所述第1输送路的另一端的第1卸载位置之间在所述第1输送路上往复移动；

第2往复移送装置，其具有装载一张基板的载物台，能够在设置于所述第2输送路的一端的第2装运位置与设置于所述第2输送路的另一端的第2卸载位置之间在所述第2输送路上往复移动；

第1输送机构，其被设置为能够访问所述第1装运位置以及第2装运位置，具有一个或者多个用于在第1区域内输送基板的第1输送臂；

第2输送机构，其被设置为能够访问所述第1卸载位置以及第2卸载位置，具有一个或者多个用于在第2区域内输送基板的第2输送臂；以及

处理部，为了对基板实施所希望的单张处理或者批处理而被配置于所述第1区域以及第2区域中的至少一个区域，

所述第1输送机构使用所述第1输送臂在所述第1装运位置以及第2装运位置向所述第1往复移送装置以及第2往复移送装置逐张装载基板，

所述第2输送机构使用所述第2输送臂在所述第1卸载位置以及第2卸载位置从所述第1往复移送装置以及第2往复移送装置逐张卸下基板，

利用所述第1往复移送装置将基板从所述第1装运位置向所述第1卸载位置的输送、与利用所述第2往复移送装置将基板从所述第2装运位置向所述第2卸载位置的输送被独立进行。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

在所述第1区域内设置有装载部，该装载部进行收纳有未处理的基板的盒的放入，

所述第1输送机构使用所述第1输送臂将用于向所述第1往复移送装置或者第2往复移送装置装载的基板从所述盒取出。

3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

所述第1输送路以及第2输送路拉开一定的间隔上下重叠。

4.一种基板处理装置，其特征在于，具有：

输送线，其从处理流程的上游侧朝下游侧沿水平的方向输送被处理基板；

第1输送机构，其被设置在所述输送线上，与配置于其周围的第1处理部逐张进行基板的交接；

第2输送机构，其被设置于所述输送线上的比所述第1输送机构靠下游侧的位置，与配置于其周围的第2处理部逐张进行基板的交接；以及

能够往复移动的第1往复移送装置及第2往复移送装置，它们构成所述输送线的一个区间，分别将基板逐张从与所述第1输送机构邻接的第1装运位置以及第2装运位置向与所述第2输送机构邻接的第1卸载位置以及第2卸载位置装载并单独地进行单张输送。

5.一种基板处理装置，其特征在于，具有：

输送线，其从处理流程的上游侧朝下游侧沿水平的方向输送被处理基板；

第1输送机构，其被设置在所述输送线上，与配置于其周围的第1处理部逐张进行基板的交接；

第2输送机构，其被设置于所述输送线上的比所述第1输送机构靠下游侧的位置，与配置于其周围的第2处理部逐张进行基板的交接；以及

能够往复移动的第1往复移送装置及第2往复移送装置，它们构成所述输送线的一个区间，分别将基板逐张从与所述第1输送机构邻接的第1装运位置以及第2装运位置向与所述第2输送机构邻接的第1卸载位置以及第2卸载位置装载并进行单张输送，

所述基板处理装置以一定的生产节拍时间交替进行利用所述第1往复移送装置对基板的输送和利用所述第2往复移送装置对基板的输送。

6.根据权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于，

同时进行所述第1往复移送装置装载基板并从所述第1装运位置向所述第1卸载位置移动的动作、和所述第2往复移送装置不装载基板地从所述第2卸载位置向所述第2装运位置移动的动作，

同时进行所述第2往复移送装置装载基板并从所述第2装运位置向所述第2卸载位置移动的动作、和所述第1往复移送装置不装载基板地从所述第1卸载位置向所述第1装运位置移动的动作。