[发明专利]基板处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及对基板的表面实施用于精细加工的处理的基板处理装置，尤其涉及在每个处理工序中将基板转送至各工序的处理装置来进行一系列处理的基板处理装置。

背景技术

以往，在半导体器件、FPD（平板显示器）、太阳能电池板等的生产线中，大多采用下述的串排（inline）系统方式：将与一系列工序对应的多种处理装置集中配置，按处理流程的顺序将处理对象的基板（半导体晶片、玻璃基板等）转送至各处理装置来进行一系列工序处理。尤其在一系列处理均是对基板逐张地处理的单张式处理的情况下，容易采用这样的串排系统。即，若每张基板的生产节拍时间为T_S并将各单张处理P_m的所需时间设为T_m，则只要在该单张处理P_m中使N_i个（其中，N_i是自然数，且N_i≥T_m／T_S）单张式处理装置PU_m以生产节拍时间T_S的时间差并行运转即可。

但是，若串排集中的处理的种类、数量很多，则在多个处理装置间负责基板转送的输送机械手的任务增多而赶不上生产节拍。鉴于此，采用了如下方式：将串排系统划分为多个区域，在各区域内使一台输送机械手进行处理装置间的基板转送，在邻接的区域间使双方的输送机械手经由固定的基板中继台进行基板的交换（例如参照专利文献1）。

专利文献1:日本特开2001-319852号公报

在如上述那样使多个输送机械手经由固定的基板中继台进行基板交换的串排系统中，成为在交付基板一侧的输送机械手将基板放置到基板中继台后，接受基板一侧的输送机械手从基板中继台取走该基板的步骤。但是，若从另一观点出发，则还是在接受基板一侧的输送机械手从基板中继台取走基板后，交付基板一侧的输送机械手将另一张基板放置到基板中继台的步骤。

总之，这里重要的是无法同时执行交付基板一侧的输送机械手将基板放置到基板中继台的动作、和接受基板一侧的输送机械手从基板中继台取走基板的动作。两个输送机械手独立地进行各自固有的输送任务，在双方之间进行基板的交换时必须确认基板中继台的空闲状况，还需要根据情况进行中断控制。由此，不仅导致输送效率下降，还使输送机械手的控制程序（软件）臃肿且成本提高。

并且，在将多个或者其他种类的处理装置大致按处理流程的顺序横向排列的串排系统中，各输送机械手不仅使其输送臂升降移动、旋转移动、进退移动，还使其机械手主体沿着铺设在系统内的导轨在水平方向移动。这样，由于重的输送机械手以多轴进行水平移动，所以导致基板的输送速度甚至输送效率的进一步降低，并且有可能产生颗粒或者卷起颗粒。

在其他的系统方式中也会发现上述那样的问题。例如，在将单张式的处理装置和批处理式的处理装置混在一起的情况下，由于很难协调各自的生产节拍，所以上述那样的使多个输送机械手经由基板中继台协作的方式的缺点更为显著，很难构建串排系统。

发明内容

本发明用于解决上述那样的现有技术的问题点，提供一种能与单张处理或者批处理的种类无关地利用新颖的基板输送方式高效且高生产率地进行对基板实施的一系列处理的基板处理装置。