[发明专利]有机EL元件的制造方法和制造装置

权利要求书

1.一种有机EL元件的制造方法，其特征在于，

该制造方法包括如下工序：

以使带状的基材沿着规定的行进方向行进的方式使基材行进的工序；

通过自蒸镀源喷出气化材料，从而使上述气化材料蒸镀到上述基材的规定部位上的工序；以及

在蒸镀上述气化材料时，为了防止上述气化材料蒸镀到除了上述规定部位之外的部位，而将用于遮蔽上述基材的遮蔽部配置在上述蒸镀源和上述基材之间的工序，

上述遮蔽部构成为能够被切换到如下位置：配置在上述蒸镀源和上述基材之间来遮蔽上述基材的遮蔽位置和自上述蒸镀源和上述基材之间退避来解除对上述基材的遮蔽的解除位置，

在上述遮蔽部位于上述遮蔽位置的状态下，上述遮蔽部以与上述基材相同的速度向上述行进方向移动，并且，在上述遮蔽部位于上述遮蔽解除位置的状态下，上述遮蔽部向与上述行进方向相反的方向移动。

2.根据权利要求1所述的有机EL元件的制造方法，其特征在于，

上述遮蔽部为了在上述遮蔽部位于上述遮蔽位置的状态下遍及上述基材的整个宽度方向地配置而形成得大于基材的宽度尺寸。

3.根据权利要求1或2所述的有机EL元件的制造方法，其特征在于，

上述遮蔽部是触发式遮蔽板。

4.一种有机EL元件的制造装置，其特征在于，

该有机EL元件的制造装置包括：

行进装置，其用于使带状的基材沿着规定的行进方向行进；

蒸镀源，为了将气化材料蒸镀到上述基材上，其朝向上述基材的规定部位喷出上述气化材料；

遮蔽装置，其包括用于遮蔽上述基材的遮蔽部，以便防止上述气化材料蒸镀到除了上述规定部位之外的部位；以及

移动装置，其用于使上述遮蔽部移动，

上述遮蔽装置包括能够将上述遮蔽部切换到如下位置的切换机构：使上述遮蔽部配置在上述蒸镀源和上述基材之间来遮蔽上述基材的遮蔽位置和使上述遮蔽部自上述蒸镀源和上述基材之间退避来解除对上述基材的遮蔽的遮蔽解除位置，

上述移动装置用于使位于上述遮蔽位置的上述遮蔽部以与上述基材相同的速度向行进方向移动，并且，使位于上述遮蔽解除位置的上述遮蔽部向与上述行进方向相反的方向移动。