[发明专利]有机EL元件的制造方法和制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种自蒸镀源将气化了的气化材料蒸镀到带状的基材上的有机EL（电致发光）元件的制造方法。另外，本发明还涉及该有机EL元件的制造装置。

背景技术

以往，作为有机EL元件的制造方法，公知有一种制造方法，其包括：以使带状的基材沿着规定的行进方向行进的方式使基材行进的工序；以及使气化材料自蒸镀源喷出并蒸镀到基材上的工序（例如，专利文献1）。并且，采用该制造方法，通过使带状的阴影掩模的表面以与带状的基材的表面重叠的方式与带状的基材紧密接触，并使阴影掩模与基材一体地行进，从而能够使气化材料以期望的图案蒸镀到基材上。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000－183500号公报

另外，在专利文献1的制造方法中，设有用于送出阴影掩模的送出辊、用于卷取阴影掩模的卷取辊、用于支承阴影掩模的多个支承辊。关于这一点，通常会产生使装置大型化这样的问题。另外，在欲使气化材料以不同的图案蒸镀到基材上的情况下，产生为了更换（模具更换）成规定的阴影掩模而需要进行复杂操作这样的问题。

发明内容

因此，本发明是鉴于这种情况而提出的，其目的在于提供一种不需要以往那样的带状的阴影掩模、但是也能够将来自蒸镀源的气化材料以期望的图案蒸镀到基材上的有机EL元件的制造方法和制造装置。

本发明提供一种有机EL元件的制造方法，其特征在于，该制造方法包括如下工序：以使带状的基材沿着规定的行进方向行进的方式使基材行进的工序；通过自蒸镀源喷出气化材料，从而使上述气化材料蒸镀到上述基材的规定部位的工序；以及在蒸镀上述气化材料时，为了防止上述气化材料蒸镀到除了上述规定部位之外的部位，将用于遮蔽上述基材的遮蔽部配置在上述蒸镀源和上述基材之间的工序，上述遮蔽部构成为能够被切换到如下位置：配置在上述蒸镀源和上述基材之间来遮蔽上述基材的遮蔽位置和自上述蒸镀源和上述基材之间退避来解除对上述基材的遮蔽的遮蔽解除位置，在上述遮蔽部位于上述遮蔽位置的状态下，上述遮蔽部以与上述基材相同的速度向上述行进方向移动，在上述遮蔽部位于上述遮蔽解除位置的状态下，上述遮蔽部向与上述行进方向相反的方向移动。

另外，在本发明的有机EL元件的制造方法中，上述遮蔽部也可以是为了在上述遮蔽部位于上述遮蔽位置的状态下遍及上述基材的整个宽度方向地配置而形成得大于基材的宽度尺寸。

另外，在本发明的有机EL元件的制造方法中，优选上述遮蔽部是触发式（flip）遮蔽板。

另外，本发明的有机EL元件的制造装置，其特征在于，该有机EL元件的制造装置包括：行进装置，其用于使带状的基材沿着规定的行进方向行进；蒸镀源，为了将气化材料蒸镀到上述基材上，其朝向上述基材的规定部位喷出上述气化材料；遮蔽装置，其包括用于遮蔽上述基材的遮蔽部，以便防止上述气化材料蒸镀到除了上述规定部位之外的部位；以及移动装置，其用于使上述遮蔽部移动，上述遮蔽装置包括能够将上述遮蔽部切换到如下位置的切换机构：使上述遮蔽部配置在上述蒸镀源和上述基材之间来遮蔽上述基材的遮蔽位置和使上述遮蔽部自上述蒸镀源和上述基材之间退避来解除对上述基材的遮蔽的遮蔽解除位置，上述移动装置使位于上述遮蔽位置的上述遮蔽部以与上述基材相同的速度向行进方向移动，并使位于上述遮蔽解除位置的上述遮蔽部向与上述行进方向相反的方向移动。

如上所述，采用本发明，能够起到以下优异效果：不需要以往那样的带状的阴影掩模，但是也能够将来自蒸镀源的气化材料以期望的图案蒸镀到基材上。

附图说明

图1是表示本发明的一实施方式的有机EL元件制造装置的概略主视图。

图2是表示本发明的一实施方式的有机EL元件制造装置的主要部分的俯视图。

图3是表示本发明的一实施方式的有机EL元件制造装置的主要部分的侧视图。

图4是表示本发明的一实施方式的有机EL元件制造装置的主要部分的侧视图，表示遮蔽部位于遮蔽解除位置的状态。

图5是表示本发明的一实施方式的有机EL元件制造装置的主要部分的主视图，表示遮蔽部位于遮蔽解除位置的状态。

图6是表示本发明的一实施方式的有机EL元件制造装置的主要部分的侧视图，表示遮蔽部位于遮蔽位置的状态。

图7是表示本发明的一实施方式的有机EL元件制造装置的主要部分的主视图，表示遮蔽部位于遮蔽位置的状态。

图8是表示用于说明本发明的一实施方式的有机EL元件的制造方法的主要部分的俯视图。