[发明专利]等离子处理装置

权利要求书

1.一种等离子处理装置，在真空炉内部，对由金属材料构成的被处理物进行通过等离子的表面改性，其特征在于，

具备：第1供电装置，对上述被处理物外加第1电压；和第2供电装置，对相对于上述被处理物对置配置的金属体外加与上述第1电压不同的第2电压；

上述第1供电装置及上述第2供电装置的至少任一方由可动式供电装置构成，所述可动式供电装置能够在上述真空炉内部移动。

2.如权利要求1所述的等离子处理装置，其特征在于，

上述可动式供电装置具备导电性的棒部件和导电性的绳部件，所述棒部件从真空炉外部插通在真空炉内部，所述绳部件连结在棒部件上。

3.如权利要求2所述的等离子处理装置，其特征在于，

上述绳部件设置有多根。

4.如权利要求1所述的等离子处理装置，其特征在于，

上述可动式供电装置配置在比上述真空炉的中央靠开闭门附近。

5.如权利要求1所述的等离子处理装置，其特征在于，

被上述第2供电装置外加第2电压的金属体是能够拆装的电极，所述电极能够向上述真空炉的内部取放。

6.如权利要求1所述的等离子处理装置，其特征在于，

在上述真空炉内部载置上述被处理物的载置部被绝缘。

7.如权利要求1所述的等离子处理装置，其特征在于，

具备：设置在上述真空炉内部的加热器、对上述真空炉内部供给渗碳气体的渗碳气体供给装置、和将上述真空炉内部冷却的冷却装置。