[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法和有机EL显示装置

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其为在基板上形成规定图案的覆膜的蒸镀装置，其特征在于：

所述蒸镀装置具备：蒸镀单元；和移动机构，该移动机构使所述基板和所述蒸镀单元中的一个，沿与所述基板的法线方向正交的第一方向，相对于所述基板和所述蒸镀单元中另一个相对移动，

所述蒸镀单元具备：

蒸镀源，该蒸镀源具备各自放出蒸镀颗粒的多个蒸镀源开口；

限制单元，该限制单元具备从所述多个蒸镀源开口放出的所述蒸镀颗粒分别通过的多个限制开口；和

蒸镀掩模，该蒸镀掩模仅在分别通过所述多个限制开口的所述蒸镀颗粒到达的多个蒸镀区域内形成有多个掩模开口，

所述多个蒸镀区域，沿与所述法线方向和所述第一方向正交的第二方向，夹着所述蒸镀颗粒不到达的非蒸镀区域配置，

在沿所述法线方向看时，相对于与所述第二方向平行的直线上的所述非蒸镀区域，在所述第一方向上的不同位置，形成有所述蒸镀颗粒通过的掩模开口。

2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于：

在沿所述法线方向看时，所述多个蒸镀区域沿与所述第二方向平行并且在所述第一方向上的位置不同的多条直线配置。

3.如权利要求1或2所述的蒸镀装置，其特征在于：

在沿所述法线方向看时，所述多个蒸镀区域沿与所述第二方向平行并且在所述第一方向上的位置不同的2条直线呈交错状配置。

4.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于：

在沿所述法线方向看时，所述非蒸镀区域相对于所述第一方向和所述第二方向倾斜。

5.如权利要求1～4中任一项所述的蒸镀装置，其特征在于：

使通过在所述第一方向的不同位置配置的多个掩模开口的蒸镀颗粒重叠而形成共同的覆膜。

6.如权利要求1～5中任一项所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述蒸镀区域的所述第二方向上的宽度比所述蒸镀区域内的存在掩模开口的区域的所述第二方向上的宽度大。

7.一种蒸镀方法，其具有使蒸镀颗粒附着在基板上形成规定图案的覆膜的蒸镀工序，其特征在于：

使用权利要求1～6中任一项所述的蒸镀装置进行所述蒸镀工序。

8.一种有机EL显示装置，其特征在于：

具备使用权利要求7所述的蒸镀方法形成的所述覆膜作为发光层。