[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法和有机EL显示装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于在基板上形成规定图案的覆膜的蒸镀装置和蒸镀方法。另外，本发明涉及包括有机EL（Electro Luminescence：电致发光）元件的有机EL显示装置，该有机EL元件具备通过蒸镀形成的发光层。

背景技术

近年来，在各种商品和领域中使用平板显示器，要求平板显示器进一步大型化、高画质化、低耗电化。

在这样的状况下，具备利用有机材料的电场发光（Electro Luminescence）的有机EL元件的有机EL显示装置，作为全固体型且在能够低电压驱动、高速响应性、自发光性等方面优异的平板显示器，受到了高度的关注。

例如，在有源矩阵方式的有机EL显示装置中，在设置有TFT（薄膜晶体管）的基板上设置有薄膜状的有机EL元件。在有机EL元件中，在一对电极之间叠层有包含发光层的有机EL层。TFT与一对电极中的一个电极连接。通过向一对电极间施加电压使发光层发光来进行图像显示。

在全彩色的有机EL显示装置中，通常，具备红色（R）、绿色（G）、蓝色（B）的各颜色的发光层的有机EL元件作为子像素排列形成在基板上。通过使用TFT使这些有机EL元件有选择地以期望的亮度发光来进行彩色图像显示。

为了制造有机EL显示装置，需要按每个有机EL元件以规定图案形成包含发各色光的有机发光材料的发光层。

作为以规定图案形成发光层的方法，例如，已知有真空蒸镀法、喷墨法、激光转印法。例如，在低分子型有机EL显示装置（OLED）中，大多使用真空蒸镀法。

在真空蒸镀法中，使用形成有规定图案的开口的掩模（也称为阴影掩模）。使密合固定有掩模的基板的被蒸镀面与蒸镀源相对。然后，使来自蒸镀源的蒸镀颗粒（成膜材料）通过掩模的开口而蒸镀在被蒸镀面上，由此形成规定图案的覆膜。蒸镀按每个发光层的颜色进行（将此称为“分涂蒸镀”）。

例如，在专利文献1、2中记载有使掩模相对于基板依次移动来进行各颜色的发光层的分涂蒸镀的方法。在这样的方法中，使用与基板同等大小的掩模，在蒸镀时，掩模以覆盖基板的被蒸镀面的方式被固定。

在这样的以往的分涂蒸镀法中，如果基板增大，则需要掩模也随之大型化。但是，当使掩模增大时，由于掩模的自重弯曲和伸长，容易在基板与掩模之间产生间隙。而且，其间隙的大小根据基板的被蒸镀面的位置的不同而不同。因此，难以进行高精度的图案化，会发生蒸镀位置的偏移和混色，难以实现高精细化。

另外，当使掩模增大时，掩模和保持该掩模的框架等变得巨大，其重量也增加，因此，操作变得困难，有可能给生产率和安全性带来障碍。另外，蒸镀装置和附随于其的装置也同样巨大化、复杂化，因此，装置设计变得困难，设置成本也变得高昂。

因此，在专利文献1、2中记载的以往的分涂蒸镀法中，难以应对大型基板，例如，对超过60英寸大小的那样的大型基板，难以以量产水平进行分涂蒸镀。

专利文献3中记载有一种蒸镀方法，在该蒸镀方法中，在使蒸镀源和蒸镀掩模相对于基板相对移动的同时，使从蒸镀源放出的蒸镀颗粒通过蒸镀掩模的掩模开口后附着在基板上。如果采用该蒸镀方法，则即使是大型基板，也不需要与其相应地使蒸镀掩模大型化。

可是，因为需要使蒸镀掩模相对于基板相对移动，所以需要使基板与蒸镀掩模分离。在专利文献3中，从各个方向飞来的蒸镀颗粒能够向蒸镀掩模的掩模开口入射，因此，在基板上形成的覆膜的宽度比掩模开口的宽度扩大，在覆膜的端缘产生模糊（毛边）。

专利文献4中记载有一种蒸镀装置，该蒸镀装置具备：沿第一方向配置的多个喷嘴；沿第一方向配置的多个狭缝；和在多个喷嘴与多个狭缝之间沿第一方向配置的多个遮断壁。从多个喷嘴的各个喷嘴放出的蒸镀颗粒，通过遮断壁之间的空间，通过多个狭缝，附着于在与第一方向正交的第二方向上行进的基板上而形成薄膜。根据该蒸镀装置，遮断壁限制向狭缝入射的蒸镀颗粒的第一方向的入射角度，因此，能够使在基板上形成的覆膜的第一方向的端缘的模糊减少。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平8-227276号公报

专利文献2：日本特开2000-188179号公报

专利文献3：日本特开2004-349101号公报

专利文献4：日本特开2010-270397号公报

发明内容

发明要解决的技术问题