[发明专利]基板作业装置

权利要求书

1.一种基板作业装置，其特征在于，具备：

一台以上模块，具有进行将元件安装到基板上时所需的作业的作业单元及控制所述作业单元的作业控制单元；

底座，将所述模块支撑为能够从作业位置沿水平方向拉出；

电力输出单元，设于所述底座，输出至少使所述作业控制单元进行动作用的电力；

电场耦合用输电部，与所述电力输出单元连接，以沿所述模块的拉出方向延伸的方式设于所述底座；

电场耦合用受电部，与所述作业控制单元连接，以沿所述模块的拉出方向延伸、且与所述电场耦合用输电部分离并且至少有一部分相向的方式设于所述模块；及

电场耦合控制单元，设于所述底座，为了将所述电力至少供给至所述作业控制单元，将从所述电力输出单元供给至所述电场耦合用输电部的电力输送至所述电场耦合用受电部，并使所述电场耦合用受电部接收电力。

2.根据权利要求1所述的基板作业装置，其特征在于，

多台所述模块沿与所述模块的拉出方向正交的方向排列配置，

所述基板作业装置构成为，在将所述模块相对于所述底座拉出而进行规定作业的情况下，该模块的所述电场耦合用受电部及与所述电场耦合用受电部相向的所述电场耦合用输电部能够进行所述电力供给。

3.根据权利要求1或2所述的基板作业装置，其特征在于，

在将所述模块相对于所述底座拉出而进行规定作业的情况下的所述电力供给量被控制为小于处于拉出前的状态时的所述电力供给量。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的基板作业装置，其特征在于，

在所述模块及所述底座上分别设置经由所述电场耦合用输电部及所述电场耦合用受电部而彼此进行通信的模块用通信控制单元及底座用通信控制单元，

所述模块用通信控制单元具备至少存储所述模块的识别信息的模块用存储单元，

所述底座用通信控制单元具备至少存储将所述模块的识别信息与所述模块的固有特性值建立关联而得到的表格数据的底座用存储单元，从所述模块用通信控制单元取得所述模块的识别信息，确定与该模块的识别信息对应的所述模块的固有特性值，并基于该模块的固有特性值来调整所述电力供给量。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的基板作业装置，其特征在于，

所述底座至少具备用于将所述模块定位于所述作业位置的定位单元。