[发明专利]异物检测装置和异物检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及异物检测装置和异物检测方法，特别是涉及使用了远红外线等的异物检测装置和异物检测方法。

背景技术

锂离子二次电池(LIB)近年来的需要急剧增长。

然而，在制造LIB时，遗留有微小金属异物混入到电池的内部的问题。因此，期望在生产工序中提高金属异物的检测精度。

一般来说，作为高灵敏度检测附着在半导体晶片和液晶基板等的表面的微小尺寸的异物的手段，使用的方法是，检测运用了暗场结构(DF结构)的散射光。

作为LIB的构件之一的电极片，是将含有活性物质、导电助剂和粘合剂的混合物即电极合剂涂装于作为集电体的金属箔上。在生产工序中检查混入到该电极合剂的膜中的异物时，要求高灵敏度地检测膜中所含的微小尺寸(数μm左右)的金属异物。电池材料之中的、正极材料，一般是以粒径数μm至与膜厚同程度的数十μm的LiCoO₂等为构成要素，因此可视光的透射率在0.1％以下，使用可视光检测膜中异物有困难。

在专利文献1中公开有一种纸片的检查方法，其是对于纸片照射波长50μm～2mm的太赫兹光，检测由纸片的表面和背面所反射的太赫兹反射光，检验基于检测出的太赫兹反射光的相位差之干涉的强度，由此检测纸片的厚度。

在专利文献2中，公开有一种实时太赫兹断层摄影和太赫兹光谱成像的装置，其以实现完全的实时测量为目的，导入使THz脉冲和探测脉冲光非共轴、使太赫兹时间波形以单次激发计测的手法，进而，对于测量对象物以线集光的状态照射THz脉冲，作为检测器使用二维成像器件，由此不需要扫描机构。

在专利文献3中，公开有一种缺陷检查装置，其通过起偏镜的偏振轴改变，使之与被检查物的固有的偏振轴一致，使来自照射机构的光为偏振光而照射到被检查物上，检偏镜使偏振轴与起偏镜的偏振轴一致，通过来自被检查物的透射光或反射光，由光检测机构检测透过量的变化或反射量的变化，由此检测被检查物的缺陷。

在专利文献4中，公开有一种表面检查装置，其使用波长10μm～1mm的微波，检测来自被测量对象面的反射波，由此决定金属的表面形状。

在专利文献5中，公开有一种检查方法，其通过使波长比粉体粒子的直径长得多的红外线透过粉体粒子内部，从而调查使粉体粒子集合而构成的被测体的内部构造。

在专利文献6中公开有一种装置，其向被检查物照射波长600μm～3mm(0.5THz～100GHz)的脉冲状或连续的亚太赫兹电磁波，利用来自该物质的传播时间的差或透射率的差，进行粉粒体中的异物检查。

在非专利文献1中，记述了各种金属、复合氧化物等的折射率和吸收系数的波长依存性。

【先行技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】特开2009-300279号公报

【专利文献2】WO2006/085403(专利申请2007-502543)

【专利文献3】特开2006-78426号公报

【专利文献4】特开2005-214758号公报

【专利文献5】特开2001-141647号公报

【专利文献6】特开2001-66375号公报

【非专利文献】

【非专利文献1】http://refractiveindex.info/

在从波长400～700nm左右的可视光至波长1μm附近的红外光的区域，照射到电极合剂的膜上的光的大部分被吸收。此外，在波长数μm的近红外线的区域，活性物质粒子形成的散射的影响大，不能使所照射的光透过。

发明内容

本发明的目的在于，对电极合剂的膜等对象物的表面或该对象物之中所含的异物进行检测，提高该对象物的可靠性。

本发明其特征在于，向对象物照射波长4μm～10mm的照明光，将来自对象物的散射光作为信号进行检测，由此检测出对象物的表面或该对象物之中所含的异物。

根据本发明，向对象物照射波长4μm～10mm的照明光，将来自该对象物的散射光作为信号进行检测，由此能够检测出该对象物的表面或该对象物之中所含的异物，提高该对象物的可靠性。

附图说明

图1是表示锂离子二次电池的电极合剂层中混入的异物的检测方法的概要的流程图。

图2A是表示太赫兹波的散射的原理的模式图。

图2B是表示太赫兹波的散射光的分布的图形。

图3A是表示测量透射率的试料的概略剖面图。

图3B是表示电极合剂层的透射率的波长依存性的图形。