[发明专利]蒸镀颗粒射出装置和蒸镀装置以及蒸镀方法

权利要求书

1.一种蒸镀颗粒射出装置，其特征在于，包括：

蒸镀颗粒发生部，其对蒸镀材料进行加热使得产生气体状的蒸镀颗粒；

蒸镀颗粒放出喷嘴部，其设置有将在所述蒸镀颗粒发生部产生的蒸镀颗粒射出到外部的多个贯通口；和

至少一级的中间喷嘴部，该中间喷嘴部具有多个贯通口，在所述蒸镀颗粒发生部与蒸镀颗粒放出喷嘴部之间，与所述蒸镀颗粒发生部和蒸镀颗粒放出喷嘴部隔开间隔地重叠设置，

在所述蒸镀颗粒发生部、蒸镀颗粒放出喷嘴部和中间喷嘴部分别设置有温度调整部件，

所述蒸镀颗粒放出喷嘴部由对应的温度调整部件控制成比所述蒸镀材料成为气体的温度低的温度，

所述中间喷嘴部由对应的温度调整部件控制成所述蒸镀颗粒发生部与蒸镀颗粒放出喷嘴部之间的温度。

2.如权利要求1所述的蒸镀颗粒射出装置，其特征在于：

所述中间喷嘴部被控制成比所述蒸镀材料成为气体的温度高的温度。

3.如权利要求1或2所述的蒸镀颗粒射出装置，其特征在于：

从所述蒸镀颗粒放出喷嘴部与中间喷嘴部重叠的方向看时的所述中间喷嘴部的贯通口的中心位置，与从所述蒸镀颗粒放出喷嘴部与中间喷嘴部重叠的方向看时的所述蒸镀颗粒放出喷嘴部的贯通口的中心位置相同。

4.如权利要求1～3中任一项所述的蒸镀颗粒射出装置，其特征在于：

所述中间喷嘴部在所述蒸镀颗粒放出喷嘴部与中间喷嘴部重叠的方向上设置有多级，并且与各中间喷嘴部对应地分别设置有温度调整部件，

相邻级的中间喷嘴部由对应的温度调整部件控制成：所述蒸镀颗粒放出喷嘴部一侧的中间喷嘴部的温度与所述蒸镀颗粒发生部一侧的中间喷嘴部的温度相同或比其低。

5.如权利要求4所述的蒸镀颗粒射出装置，其特征在于：

所述多级的中间喷嘴部由对应的温度调整部件控制成：越是靠所述蒸镀颗粒放出喷嘴部一侧的中间喷嘴部，温度越比所述蒸镀颗粒发生部一侧的中间喷嘴部低。

6.如权利要求4或5所述的蒸镀颗粒射出装置，其特征在于：

从所述蒸镀颗粒放出喷嘴部与中间喷嘴部重叠的方向看时的所述多级的中间喷嘴部的贯通口的开口面积分别比所述蒸镀颗粒放出喷嘴部的贯通口的开口面积大，

相邻级的中间喷嘴部中，所述蒸镀颗粒放出喷嘴部一侧的中间喷嘴部的贯通口的开口面积与所述蒸镀颗粒发生部一侧的中间喷嘴部的贯通口的开口面积相同或比其小。

7.如权利要求6所述的蒸镀颗粒射出装置，其特征在于：

关于所述多级的中间喷嘴部的贯通口的开口面积，越是靠所述蒸镀颗粒放出喷嘴部一侧的中间喷嘴部的贯通口，开口面积越比所述蒸镀颗粒发生部一侧的中间喷嘴部的贯通口的开口面积小。

8.如权利要求1～3中任一项所述的蒸镀颗粒射出装置，其特征在于：

从所述蒸镀颗粒放出喷嘴部与中间喷嘴部重叠的方向看时的所述中间喷嘴部的贯通口的开口面积，比从所述蒸镀颗粒放出喷嘴部与中间喷嘴部重叠的方向看时的所述蒸镀颗粒放出喷嘴部的贯通口的开口面积大。

9.如权利要求1～8中任一项所述的蒸镀颗粒射出装置，其特征在于：

还具有加热喷嘴部，该加热喷嘴部具有多个贯通口，在所述蒸镀颗粒发生部与中间喷嘴部之间，与所述蒸镀颗粒发生部和中间喷嘴部隔开间隔地重叠设置，且被控制成比所述蒸镀颗粒发生部高的温度，

从所述加热喷嘴部与所述蒸镀颗粒发生部和中间喷嘴部重叠的方向看时的所述加热喷嘴部的贯通口的中心位置，与从所述加热喷嘴部与所述蒸镀颗粒发生部和中间喷嘴部重叠的方向看时的所述中间喷嘴部的贯通口的中心位置相同。

10.如权利要求1～9中任一项所述的蒸镀颗粒射出装置，其特征在于：

所述各喷嘴部分别形成于不同的单元，在与各单元间的间隙对应的部分，设置有捕捉蒸镀颗粒的蒸镀颗粒捕捉部。

11.如权利要求10所述的蒸镀颗粒射出装置，其特征在于：

所述蒸镀颗粒捕捉部是以封闭所述各单元间的间隙的方式可拆卸地设置于所述各单元的外侧的冷却体。