[发明专利]蒸镀颗粒射出装置和蒸镀装置以及蒸镀方法

说明书

技术领域

本发明涉及蒸镀颗粒射出装置和具有该蒸镀颗粒射出装置作为蒸镀源的蒸镀装置以及使用该蒸镀装置的蒸镀方法。

背景技术

近年来，在各种商品和领域中均使用平板显示器，要求平板显示器的进一步大型化、高画质化、低耗电化。

这种状况下，具有利用了有机材料的电致发光(Electroluminescence，以下记作“EL”)的有机EL元件的有机EL显示装置，作为全固体型且在低电压驱动、高速响应性、自发光性等方面优秀的平板显示器，备受瞩目。

有机EL显示装置具有例如在由设置有TFT(薄膜晶体管)的玻璃基板等构成的基板上，设置有与TFT连接的有机EL元件的结构。

有机EL元件是能够利用低电压直流驱动进行高亮度发光的发光元件，具有第一电极、有机EL层和第二电极依次层叠的结构。其中，第一电极与TFT连接。

另外，在第一电极与第二电极之间，作为上述有机EL层，设置有使空穴注入层、空穴输送层、电子阻挡层、发光层、空穴阻挡层、电子输送层、电子注入层等层叠而成的有机层。

全彩色的有机EL显示装置，一般将红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)各色的有机EL元件作为子像素在基板上排列形成，用TFT使这些有机EL元件有选择地以期望的亮度发光，由此进行图像显示。

这种有机EL显示装置的发光部中的有机EL元件，一般由有机膜的层叠蒸镀形成。有机EL显示装置的制造中，至少由发出各色光的有机发光材料构成的发光层，按每个作为发光元件的有机EL元件以规定的图案成膜。

层叠蒸镀的规定图案的成膜中，除了可以使用例如被称为荫罩(shadow mask)的掩模的蒸镀法以外，还可以使用喷墨法、激光转印法等。其中，当前使用被称为荫罩的掩模的蒸镀法是最常用的。

使用被称为荫罩的掩模的蒸镀法中，在能够将内部保持为减压状态的腔室内，配置使蒸镀材料蒸发或升华的蒸镀源，例如在高真空下对蒸镀材料进行加热使蒸镀材料蒸发或升华。

然后，将该蒸镀或升华后的蒸镀材料作为蒸镀颗粒通过设置于蒸镀用的掩模的开口部而蒸镀于被成膜基板上，由此形成期望的成膜图案。

在专利文献1中，作为蒸镀颗粒射出装置，公开有一种原料供给装置，其作为如上所述使用被称为荫罩的掩模的蒸镀法的一例，通过控制从蒸镀源蒸发或升华的蒸镀材料的量来使蒸镀膜的成膜速度稳定。

图18是表示专利文献1记载的原料供给装置的概略结构的剖视图。

如图18所示，专利文献1所述的原料供给装置300具有如下结构：将蒸镀材料加热成第一温度使其蒸发或升华而成为气体原料的气体发生室301，与调整上述气体原料的温度的温度调整室302通过配管部303连接。

另外，在温度调整室302的出口附近，设置有作为蒸镀用的掩模起作用的狭缝部304。由此，气体原料通过狭缝部304后被蒸镀到被成膜基板200上。

在温度调整室302的比狭缝部304靠上游侧(即，与配管部303连接的一侧)的位置，设置有使蒸发或升华后的蒸镀材料(气体原料)成为比上述第一温度低的第二温度的第一加热器305。

在温度调整室302内设置有多个多孔板306，在各多孔板306设置有使气体原料通过的多个开口部306a。气体原料通过与多孔板306接触而发生热交换，从而被控制为第二温度。

另外，在温度调整室302的狭缝部304及其下流侧，设置有使上述气体原料成为比上游侧的第二温度高的第三温度的第二加热器307。

专利文献1中，使蒸发或升华后的原料(气体原料)在温度调整室302成为比第一温度低的第二温度，使之饱和而成为饱和蒸气压。由此，抑制伴随温度变动的气体原料的供给量的变动，另一方面在狭缝部304及其下游侧，通过将气体原料加热到比第二温度高的第三温度，抑制气体原料的凝固。

具体而言，作为蒸镀材料，在发光层的主体材料中使用Alq₃(羟基喹啉铝络合物，aluminato-tris-8-hydroxyquinolate)，令第一温度为350℃～400℃，第二温度为300℃～350℃，第三温度为350℃～400℃。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本公开特许公报“特开2007-92149号公报(2007年4月12日公开)”

发明内容

发明要解决的技术问题