[发明专利]磁检测装置有效
申请号: | 201280011982.3 | 申请日: | 2012-03-05 |
公开(公告)号: | CN103492895A | 公开(公告)日: | 2014-01-01 |
发明(设计)人: | 内山刚;中山晋介;热田谕志 | 申请(专利权)人: | 国立大学法人名古屋大学;富士设计科技有限公司 |
主分类号: | G01R33/02 | 分类号: | G01R33/02 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 段承恩;徐健 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测 装置 | ||
技术领域
本发明涉及磁检测装置,特别涉及能够高精度地检测微小磁场的磁检测装置。
背景技术
近年来,如检测活体细胞产生的磁信号(磁场)那样,要求能够高精度、例如通过高分辨率检测磁场的磁检测装置。在这样的状况中,例如提出了利用在对通电了高频率电流的非晶丝(丝状的非晶态合金)施加外部磁场时其阻抗发生变化的磁阻(MI;Magneto-Impedance)效果的磁阻传感器。例如,专利文献1所记载的磁传感器就是这样。根据这样的磁阻传感器,能够将微小的磁场变化捕捉为所述非晶丝的阻抗变化,所以能够进行分辨率高的磁场检测。
另一方面,在对产生微小磁场的测定对象物进行测定的情况下,除了使用上述那样的分辨率高的传感器之外,还需要降低地磁等外部磁场的影响。为了降低外部磁场的影响,使多个传感器的输出差动来进行检测。即,在一方的传感器中检测测定对象物产生的磁场和外部磁场这两者,在另一方中只检测外部磁场。然后,通过两者的输出之差,能够仅得到所述测定对象物产生的磁场。
现有技术文献
专利文献1:国际公开第2005/019851号
发明内容
发明要解决的问题
但是,如上所述,在使多个传感器工作的情况下,为了高精度地检测测定对象物产生的磁场,需要该多个传感器检测的外部磁场共同,同时需要一方的传感器检测测定对象物产生的磁场和外部磁场这两者而另一方的传感器只检测外部磁场。多个传感器只要接近就能够检测共同的外部磁场,但是在该情况下存在如下问题:在无论多个传感器的哪一个都有可能检测了测定对象物产生的磁场。
如此,在使多个传感器差动来进行磁场检测的情况下,依然存在应改善的问题。
本发明是以上述的情况为背景而完成的发明,其目的在于,提供一种磁检测装置,其在使多个传感器差动来进行磁场检测的情况下能够高精度地进行检测。
用于解决问题的手段
用于达到这样的目的的本申请第1发明是一种磁检测装置,具有:(a)一对磁传感器,其分别包含用于检磁的感磁部;和(b)长条状的耦合部件,其与该一对感磁部一起构成磁路,(c)该一对感磁部的感磁方向和该耦合部件的长度方向一致到能够相等地检测在该一对感磁部共同施可的磁场,(d)该耦合部件由相对磁导率为100以上的磁性材料、具有构成所述感磁部的磁性材料的相对磁导率的1/100以上的相对磁导率的磁性材料、或者与磁传感器的感磁部材料相同的磁性材料构成,(e)使所述一对传感器的输出进行差动来测定磁。
发明的效果
根据所述第1发明,所述一对传感器的感磁部与由相对磁导率为100以上的磁性材料(具体而言,例如铁酸盐、坡莫合金、非晶态合金等矫顽力小的磁性材料等)、具有构成所述感磁部的磁性材料的相对磁导率的1/100以上的相对磁导率的磁性材料(具体而言,例如钴-铁-硅-硼合金(Co-Fe-Si-B合金)等)、或者与磁传感器的感磁部材料相同的磁性材料构成的所述耦合部件一起构成磁路,所以能够在所述一对传感器的两方中相等地施加环境磁场和/或磁背景噪声等外部磁场,并对其进行检测。另外,仅使所述一对传感器的一方检测测定对象物产生的磁场,使所述一对传感器的输出差动,由此能够降低外部磁场的影响,仅高精度地检测所述测定对象物产生的磁场。
另外,本申请的第2发明的特征在于,在所述第1发明涉及的磁检测装置中,(a)所述耦合部件由多个耦合部件片构成,(b)该多个耦合部件片隔着所述耦合部件的接合部的截面积径以下的间隙或者紧贴地配设。如此一来,在所述耦合部件由多个耦合部件片构成,且没有将所述一对磁传感器在磁路上严密地串联的情况下,也能够使施加于这一对传感器的外部磁场平均化,能获得与所述第1发明相同的效果。另外,如此一来,在构成所述1个磁路的耦合部件由多个耦合部件片构成的情况下,能够选择性地设计该多个耦合部件片是否电连接。此外,在本说明书中,将“构成磁路的要素设为在一条磁路上磁通量连续”称为“在磁路上串联”。
另外,本申请的第3发明的特征在于,在所述第2发明涉及的磁检测装置中,在所述间隙配设有相对磁导率为100以上的磁性体。如此一来,在所述耦合部件由多个耦合部件片构成,且没有将所述一对磁传感器在磁路上严密地串联的情况下,也能获得与所述第2发明相同的效果。
另外,本申请的第4发明的特征在于,在所述第1发明涉及的磁检测装置中,所述一对传感器的感磁部和所述耦合部件由相同的材料一体构成。如此一来,因为在所述感磁部和所述耦合部件的特性上没有批次间的不均,均匀性增加,并且感磁部和耦合部件一体成形,所以易于制造。
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