[发明专利]蒸镀颗粒射出装置和蒸镀装置以及蒸镀方法

权利要求书

1.一种蒸镀颗粒射出装置，其具备对蒸镀材料进行加热而产生气态的蒸镀颗粒的蒸镀颗粒产生部，对蒸镀材料进行加热而形成气态的蒸镀颗粒，将该气态的蒸镀颗粒向外部射出，

所述蒸镀颗粒射出装置的特征在于，包括：

中空的旋转体，该旋转体至少设置有一组在所述贯通口的开口方向上相对且对称地设置的成对的喷嘴部，该成对的喷嘴部各自具有使所述蒸镀颗粒射出的多个贯通口；

旋转机构，其使所述旋转体旋转，将所述成对的喷嘴部的配置调换；和

与各喷嘴部对应地设置的多个温度调整部件，

设置于所述旋转体的喷嘴部中的一个喷嘴部由所述旋转机构保持为面向外部，

面向外部的喷嘴部由对应的温度调整部件冷却至比蒸镀材料成为气体的温度低的温度，

与面向外部的喷嘴部成对的喷嘴部，由对应的温度调整部件加热至蒸镀材料成为气体的温度以上的温度，

当通过所述旋转机构使所述旋转体旋转时，所述各温度调整部件根据所述各喷嘴部的配置，切换所述冷却和加热。

2.如权利要求1所述的蒸镀颗粒射出装置，其特征在于：

在所述旋转体设置有多组所述成对的喷嘴部，

各组喷嘴部以所述旋转体的旋转轴为中心在旋转方向上隔开规定的间隔设置。

3.如权利要求1或2所述的蒸镀颗粒射出装置，其特征在于：

成对的各喷嘴部分别包括在所述贯通口的开口方向上隔开规定的间隔设置的多级喷嘴部。

4.如权利要求3所述的蒸镀颗粒射出装置，其特征在于：

所述多级喷嘴部被控制成：越是面向外部的喷嘴部，温度越低。

5.如权利要求1～4中任一项所述的蒸镀颗粒射出装置，其特征在于：

与面向外部的喷嘴部成对的喷嘴部由对应的温度调整部件加热至蒸镀材料成为气体的温度以上且比所述蒸镀颗粒产生部的温度低的温度。

6.如权利要求1～5中任一项所述的蒸镀颗粒射出装置，其特征在于：

还包括参数检测部，该参数检测部检测用于判断将所述成对的喷嘴部的配置调换的时机的参数，

所述旋转机构根据从所述参数检测部输送的信号，在由所述参数检测部检测到的参数达到预先设定的条件时，将所述成对的喷嘴部的配置调换。

7.如权利要求6所述的蒸镀颗粒射出装置，其特征在于：

所述参数检测部为包括摄像部和运算部的图像传感器，其中，该运算部对从该摄像部输送的图像进行解析，计算附着在面向外部的喷嘴部的附着物在该面向外部的喷嘴部的开口面积中所占的比例，

所述旋转机构在由所述运算部计算出的所述比例达到预先设定的阈值时，将所述成对的喷嘴部的配置调换。

8.如权利要求6所述的蒸镀颗粒射出装置，其特征在于：

所述参数检测部包括定时部和运算部，该定时部计量该蒸镀颗粒射出装置的运转时间，该运算部对由该定时部所计量的运转时间进行累计，

所述旋转机构在由所述运算部计算出的累计运转时间达到指定时间时，将所述成对的喷嘴部的配置调换。

9.如权利要求6所述的蒸镀颗粒射出装置，其特征在于：

所述参数检测部为对利用所射出的蒸镀颗粒成膜的成膜次数进行计数的计数器，

所述旋转机构在由所述计时器计数得到的成膜次数达到指定成膜次数时，将所述成对的喷嘴部的配置调换。

10.如权利要求6所述的蒸镀颗粒射出装置，其特征在于：

所述参数检测部包括：对附着在面向外部的喷嘴部的附着物照射光的光照射单元；检测对所述附着物照射光而得到的反射光的反射强度或光谱的检测部；和根据由所述检测部检测到的反射光的反射强度或光谱计算附着物的附着量的运算部，

所述旋转机构在所述附着量达到预先设定的阈值时，将所述成对的喷嘴部的配置调换。