[发明专利]用于显示设备的介电分隔件无效
申请号: | 201280014602.1 | 申请日: | 2012-03-20 |
公开(公告)号: | CN103443688A | 公开(公告)日: | 2013-12-11 |
发明(设计)人: | F·钟;Y·陶 | 申请(专利权)人: | 高通MEMS科技公司 |
主分类号: | G02B26/00 | 分类号: | G02B26/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 李小芳 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 显示 设备 分隔 | ||
1.一种设备,包括:
具有第一表面的基板,所述第一表面包括位于其上的多个锚区划;
多个隆起分隔件,所述多个隆起分隔件由所述基板支承并且至少部分地布置在所述锚区划内;以及
由所述基板支承的多个机电器件,其中所述机电器件形成在所述隆起分隔件之上并且在所述锚区划内被锚定至底下的表面,并且其中所述机电器件在离所述基板的所述第一表面最大高度处的部分覆在所述隆起分隔件之上。
2.如权利要求1所述的设备,其特征在于,还包括背板,所述背板封接至所述基板的所述第一表面以形成封装。
3.如权利要求2所述的设备,其特征在于,所述背板密封至所述基板。
4.如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述机电器件是干涉式调制器。
5.如权利要求4所述的设备,其特征在于,所述干涉式调制器具有锚定在所述锚区划内的可移动镜。
6.如权利要求1所述的设备,其特征在于,还包括至少部分地位于所述锚区划内的黑色掩模结构,其中所述分隔件覆在所述黑色掩模结构之上。
7.如权利要求6所述的设备,其特征在于,所述黑色掩模结构的至少一部分是导电的。
8.如权利要求6所述的设备,其特征在于,所述机电器件还包括在所述黑色掩模结构的各部分之间延伸的缓冲层,其中所述缓冲层的一部分在所述黑色掩模结构的至少一部分之上延伸。
9.如权利要求8所述的设备,其特征在于,定形结构在所述多个隆起分隔件中的至少一个隆起分隔件之上延伸,并且其中所述定形结构和所述缓冲层包括相同的材料。
10.如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述隆起分隔件是介电分隔件。
11.如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述机电器件封装中的隆起分隔件的数目小于所述机电器件的数目。
12.如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述分隔件具有截头锥体形状。
13.如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述隆起分隔件的高度至少为0.5μm。
14.如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述隆起分隔件在所述隆起分隔件的基部处的横截面尺寸至少为2μm。
15.如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述隆起分隔件在所述隆起分隔件的顶部附近的直径至少为1.5μm。
16.如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述隆起分隔件具有约为的高度和约为1.5μm的直径。
17.如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述基板对可见光是透射的。
18.如权利要求1所述的设备,其特征在于,进一步包括:
处理器,其配置成与所述多个机电器件通信,所述处理器被配置成处理图像数据;以及
存储器设备,其配置成与所述处理器通信。
19.如权利要求18所述的设备,其特征在于,进一步包括驱动器电路,所述驱动器电路被配置成将至少一个信号发送给所述显示器。
20.如权利要求19所述的设备,其特征在于,进一步包括控制器,所述控制器被配置成将所述图像数据的至少一部分发送给所述驱动器电路。
21.如权利要求18所述的设备,其特征在于,进一步包括配置成将所述图像数据发送给所述处理器的图像源模块。
22.如权利要求21所述的设备,其特征在于,所述图像源模块包括接收机、收发机和发射机中的至少一者。
23.如权利要求18所述的设备,其特征在于,进一步包括输入设备,所述输入设备被配置成接收输入数据并将所述输入数据传达给所述处理器。
24.一种设备,包括:
具有第一表面的基板,所述第一表面包括位于其上的多个锚区划;
由所述基板的所述第一表面支承的多个机电器件,其中所述机电器件包括在所述锚区划内被锚定至底下的表面的可移动层;以及
用于使所述机电器件的一部分与所述基板分隔的装置,其中所述分隔装置伏在所述可移动层之下并且至少部分地位于所述锚区划内。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于高通MEMS科技公司,未经高通MEMS科技公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201280014602.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。