[发明专利]蒸镀颗粒射出装置、蒸镀颗粒射出方法和蒸镀装置

说明书

技术领域

本发明涉及蒸镀颗粒射出装置、蒸镀颗粒射出方法和具备蒸镀颗粒射出装置作为蒸镀源的蒸镀装置。

背景技术

近年来，平板面板显示器被应用于各种商品和领域，并要求平板面板显示器的更加的大型化、高画质化、低消耗电力化。

在这样的状况下，具备利用有机材料的电致发光（Electroluminescence：以下记作“EL”）的有机EL元件的有机EL显示装置作为全固体型且在低电压驱动、高速响应性、自发光性等方面优异的平板面板显示器受到高度关注。

有机EL显示装置例如具有如下结构：在由设置有TFT（薄膜晶体管）的玻璃基板等构成的基板上，设置有与TFT连接的有机EL元件。

有机EL元件是利用低电压直流驱动的能够高亮度发光的发光元件，具有由第一电极、有机EL层和第二电极依次层叠而得到的结构。其中，第一电极与TFT连接。

此外，在第一电极与第二电极之间，设置有使空穴注入层、空穴输送层、电子阻挡层、发光层、空穴阻挡层、电子输送层、电子注入层等层叠而得到的有机层，作为上述有机EL层。

全彩色的有机EL显示装置一般在基板上排列形成有红色（R）、绿色（G）、蓝色（B）各种颜色的有机EL元件作为子像素，通过使用TFT使这些有机EL元件有选择地按所期望的亮度发光来进行图像显示。

这样的有机EL显示装置的发光部的有机EL元件一般利用有机膜的层叠蒸镀形成。在有机EL显示装置的制造中，含有至少发出各种颜色的光的有机发光材料的发光层按每个作为发光元件的有机EL元件以规定图案形成。

在利用层叠蒸镀的规定图案的成膜中，例如能够利用：使用有被称为荫罩的掩模的蒸镀法；以及喷墨法、激光转印法等。其中，使用有被称为荫罩的掩模的真空蒸镀法是现在最普遍使用的方法。

在使用有被称为荫罩的掩模的真空蒸镀法中，在能够将内部保持为减压状态的真空腔室内，配置能够使蒸镀材料蒸发或升华的蒸镀源，例如在高真空下加热蒸镀材料而使蒸镀材料蒸发或升华。

但是，在有机EL显示装置的制造中使用上述真空蒸镀法的情况下，必须在发光层的分涂中对要蒸镀的区域恰当地导入蒸镀颗粒。如果不能对要蒸镀的区域恰当地导入蒸镀颗粒，则要蒸镀的区域的边界区域不明确而产生蒸镀模糊。例如，提案有：在真空腔室内的蒸镀源与蒸镀对象物之间设置用于进行蒸镀流（蒸镀颗粒的流向）的高指向性的控制的限制板等蒸镀流控制部，由此来减少蒸镀模糊的技术（例如专利文献1等）。

图13是示意地表示使用与专利文献1中记载的真空蒸镀装置不同的限制板的蒸镀装置的图。

在图13所示的蒸镀装置中，蒸镀源单元1050具备：蒸镀源1060；包括多个控制板1086的控制块（相当于上述蒸镀流控制部）1085；和形成有在Y轴方向上延伸的条状开口1071的蒸镀掩模1070。蒸镀源单元1050保持固定，使作为蒸镀对象物的基板1010在Y轴方向上移动，从而在该基板1010形成覆盖膜。即，在从蒸镀源1060的多个蒸镀源开口1061放出蒸镀颗粒1091的状态下，使基板1010在Y轴方向上移动，由此使基板1010的被蒸镀面附着蒸镀颗粒1091，形成与Y轴方向平行的多个条状的覆盖膜。

在图13所示的蒸镀装置中，为了实现指向性控制，从蒸镀源1060的蒸镀源开口1061放出的蒸镀颗粒1091通过控制块1085并经由蒸镀掩模1070到达基板1010。由此，能够对要蒸镀的区域恰当地导入蒸镀颗粒1091，因此不产生蒸镀模糊。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本公开专利公报“特开2004-137583号公报（2004年5月13日公开）”

发明内容

发明所要解决的技术问题

但是，如上所述，在使用控制块1085的情况下，从蒸镀源1060的蒸镀源开口1061放出的蒸镀颗粒1091中、一部分通过控制块1085而有助于蒸镀，但是大部分被控制块1085遮蔽，对蒸镀没有帮助而浪费掉，因此产生蒸镀率变低的问题。

此处，为了提高蒸镀率，在蒸镀源1060提高蒸镀材料的加热温度即可，但是因为蒸镀材料是有机物所以热传导率低，因此如果过度提高加热温度，则由于蒸镀材料的热传导的延迟而使该蒸镀材料过度地被加热从而热分解，产生蒸镀材料劣化的问题。

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于，提供不过度地加热蒸镀材料也能够提高蒸镀率的蒸镀颗粒射出装置。

用于解决技术问题的技术方案