[发明专利]增大多光子成像分辨率的方法无效

专利信息
申请号: 201280019462.7 申请日: 2012-04-17
公开(公告)号: CN103492951A 公开(公告)日: 2014-01-01
发明(设计)人: R·J·德沃埃 申请(专利权)人: 3M创新有限公司
主分类号: G03F7/038 分类号: G03F7/038;G03F7/20;G03F7/00;G03F7/029;G03F7/031
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 陈长会
地址: 美国明*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 增大 光子 成像 分辨率 方法
【权利要求书】:

1.一种形成三维微米结构的方法,其包括:

提供光致固化型组合物,其包括:

包括丙烯酸酯单体的预聚物,和

包括至少一种二苯乙烯基苯染料的多光子光引发剂体系;和

在有效地使具有体积的三维微米结构的至少一个固体体素可光确定地形成的条件下将所述光致固化型组合物的至少一个体素成像暴露于一定剂量的电磁能,

其中所述固体体素的体积随所述剂量成反比变化。

2.根据权利要求1所述的形成三维微米结构的方法,其中所述二苯乙烯基苯染料具有下式:

其中每个R独立地为H、氯、溴、氟、氰基、甲基、乙基、丙基、丁基、甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基或氰基,

其中每个A独立地为H、Cl、Br、NR3R4、OR5、烷基、烯基、芳基和O(C=O)R6,其中R3至R6独立地为甲基、乙基、丙基、丁基、羟甲基、羟乙基、羟丙基、羟基丁基、吗啉代、苯二酰亚氨基和苯基,并且

其中,如果存在,所述苯基基团在每个环位置独立地被H、甲基、乙基、甲氧基、乙氧基、氟、三氟甲烷或氰基取代。

3.根据权利要求2所述的形成三维微米结构的方法,其中所述二苯乙烯基苯染料选自

4.根据权利要求1所述的形成三维微米结构的方法,其中所述多光子光引发剂体系还包括盐。

5.根据权利要求4所述的形成三维微米结构的方法,其中所述盐包括二苯基碘盐。

6.根据权利要求1所述的形成三维微米结构的方法,其中所述多光子光引发剂体系还包括电子供体化合物。

7.根据权利要求6所述的形成三维微米结构的方法,其中所述电子供体包括烷基硼酸盐。

8.根据权利要求1所述的形成三维微米结构的方法,其中至少一个体素的至少一部分比所述体素的其它部分接收更高剂量的电磁能,并且接收更高剂量的电磁能的部分不会使所述三维微米结构的至少一部分可光确定地形成。

9.根据权利要求1所述的形成三维微米结构的方法,还包括至少部分地使所述三维微米结构的光可确定地形成的部分显像。

10.根据权利要求1所述的形成三维微米结构的方法,其中所述预聚物包括增粘剂。

11.根据权利要求10所述的形成三维微米结构的方法,其中所述增粘剂包括烷氧基化的多官能丙烯酸酯单体。

12.一种形成三维微米结构的方法,其包括

提供光致固化型组合物,其包括:

包括丙烯酸酯单体的预聚物,和

包括具有化学式(T-Q)n-N-Phm的至少一个发色团的多光子光引发剂体系,

其中Q是单键或1,4-亚苯基,Ph为苯基基团,n是1-3,m的值为(3-n)并且(T-Q)具有下式:

其中R1和R2为具有1至20个碳原子的烷基基团,前提条件是当Q是单键时,n值为2或3;和

在有效地使具有体积的三维微米结构的至少一个固体体素可光确定地形成的条件下将所述光致固化型组合物的至少一个体素成像暴露于一定剂量的电磁能,

其中所述固体体素的体积随所述剂量成反比变化。

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