[发明专利]层叠体、其制造方法和用途

权利要求书

1.一种层叠体，其依次具有支撑板的层、树脂层和带有无机绝缘膜的玻璃基板的层，并且所述带有无机绝缘膜的玻璃基板的无机绝缘膜与所述树脂层接触，其中，

所述带有无机绝缘膜的玻璃基板中，

在玻璃基板的单面具有无机绝缘膜，所述无机绝缘膜含有包含选自由硅和铝组成的组中的至少一种的氧化物、氮化物或氧氮化物，

所述无机绝缘膜的与所述树脂层接触的面中碱金属和碱土金属的原子合计含量为0.5原子%以下，

所述支撑板的层与所述树脂层的界面的剥离强度高于所述树脂层与所述无机绝缘膜的界面的剥离强度。

2.如权利要求1所述的层叠体，其中，所述无机绝缘膜为包含氧化硅、氮化硅、氧氮化硅或氧化铝的膜。

3.如权利要求1或2所述的层叠体，其中，所述无机绝缘膜的与所述树脂层接触的面的表面粗糙度(Ra)小于30nm。

4.如权利要求1～3中任一项所述的层叠体，其中，所述无机绝缘膜的厚度为5～5000nm。

5.如权利要求1～4中任一项所述的层叠体，其中，所述玻璃基板的厚度为0.03～0.8mm。

6.如权利要求1～5中任一项所述的层叠体，其中，所述树脂层的树脂为聚硅氧烷树脂。

7.如权利要求6所述的层叠体，其中，所述聚硅氧烷树脂为有机烯基聚硅氧烷与有机氢聚硅氧烷的反应固化物。

8.如权利要求1～7中任一项所述的层叠体，其中，所述树脂层的厚度为1～100μm。

9.如权利要求1～8中任一项所述的层叠体，其中，所述支撑板为玻璃板。

10.一种层叠体的制造方法，用于制造依次具有支撑板的层、树脂层和带有无机绝缘膜的玻璃基板的层的层叠体，其中，

准备带有无机绝缘膜的玻璃基板，所述带有无机绝缘膜的玻璃基板在玻璃基板的单面具有无机绝缘膜，所述无机绝缘膜含有包含选自由硅和铝组成的组中的至少一种的氧化物、氮化物或氧氮化物，所述无机绝缘膜的与所述树脂层接触的面中碱金属和碱土金属的原子合计含量为0.5原子%以下；

准备带有树脂层的支撑板，所述带有树脂层的支撑板具有固定至所述支撑板的单面的所述树脂层，并且该树脂层的露出的表面具有非附着性；

以所述带有无机绝缘膜的玻璃基板的无机绝缘膜的面、与所述带有树脂层的支撑板的树脂层表面作为层叠面，将所述带有无机绝缘膜的玻璃基板与所述带有树脂层的支撑板层叠。

11.如权利要求10所述的层叠体的制造方法，其中，所述带有树脂层的支撑板为具有将有机烯基聚硅氧烷和有机氢聚硅氧烷在该支撑板上反应固化而得到的聚硅氧烷树脂的层的支撑板。

12.一种带有支撑板的显示装置用面板，具有权利要求1～9中任一项所述的层叠体、和设置在所述层叠体的玻璃基板表面的显示装置用构件。

13.一种显示装置用面板，其通过从权利要求12所述的带有支撑板的显示装置用面板以所述无机绝缘膜与所述树脂层的界面作为剥离面将带有树脂层的支撑板剥离除去而形成。

14.一种显示装置，具有权利要求13所述的显示装置用面板。